[实用新型]一种晶圆盒充气装置

权利要求书

1.一种晶圆盒充气装置，包括操作箱(1)，其特征在于：所述操作箱(1)内部中端固定连接有支撑板(13)，所述支撑板(13)顶端固定连接有第二固定座(14)，所述第二固定座(14)顶端固定连接有净气室(20)，所述净气室(20)一端相通连接有干燥管(17)，所述干燥管(17)靠近净气室(20)一端安装有电热丝(18)，所述干燥管(17)中部安装有第二气泵(16)，所述净气室(20)远离干燥管(17)一端相通连接有空气流通管(3)，所述空气流通管(3)中部安装有第一阀门(2)，所述空气流通管(3)远离净气室(20)一侧底端固定连接有收气管(5)，所述收气管(5)中部安装有第一气泵(6)，所述操作箱(1)内壁底端固定连接有第一固定座(10)，所述第一固定座(10)顶端固定连接有氮气罐(12)，所述氮气罐(12)一端相通连接有氮气流通管(9)，所述氮气流通管(9)中部安装有第二阀门(8)，所述操作箱(1)顶端固定连接有支撑架(22)，所述支撑架(22)顶端固定连接有水箱(21)，所述水箱(21)底端相通连接有冷凝管(23)，所述冷凝管(23)中部安装有微型水泵(24)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述干燥管(17)远离电热丝(18)一端开设有进气口(15)，所述空气流通管(3)远离净气室(20)一端开设有充气口(4)，所述收气管(5)远离充气口(4)一端开设有排气口(7)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述净气室(20)底端开设有若干细孔(25)，所述净气室(20)底端相通连接有收集管(26)，所述收集管(26)底端相通连接有集水槽(27)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述操作箱(1)底端活动连接有四组万向轮(11)，四组所述万向轮(11)均匀分布于操作箱(1)底端。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述氮气罐(12)位于净气室(20)下端，所述氮气流通管(9)远离氮气罐(12)一端与空气流通管(3)相通。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆盒充气装置，其特征在于：所述净气室(20)内部靠近电热丝(18)一端固定连接有过滤网(19)，所述冷凝管(23)下端呈螺旋状。