[实用新型]一种蚀刻机叶片系统及蚀刻机有效

专利信息
申请号: 202021827614.4 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN212864981U 公开(公告)日: 2021-04-02
发明(设计)人: 毛佳骏;谭学峰 申请(专利权)人: 上海镁印科技有限公司
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 上海段和段律师事务所 31334 代理人: 李佳俊;郭国中
地址: 201100 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 蚀刻 叶片 系统
【权利要求书】:

1.一种蚀刻机叶片系统,其特征在于,包括转动轴和多个叶片结构,多个叶片结构沿转动轴的轴向依次设置;所述叶片结构包括叶片本体和竖直设置在叶片本体两侧的挡板,所述叶片本体的前端设置有弧面结构;所述叶片本体的后端与转动轴连接,所述叶片本体为多个,各叶片本体沿转动轴的周向均匀分布;

所述弧面结构上设置有多个均匀分布的小孔,弧面结构连接叶片本体处的切向与叶片本体形成的角度为锐角,且各叶片本体上的弧面结构的设置方向一致,弧面结构的凹面朝向叶片本体设置。

2.根据权利要求1所述的蚀刻机叶片系统,其特征在于,所述小孔的孔径范围为1~10mm。

3.根据权利要求1所述的蚀刻机叶片系统,其特征在于,所述弧面结构与叶片本体形成的角度为20~60度。

4.根据权利要求1所述的蚀刻机叶片系统,其特征在于,所述弧面结构的弧度为0.15~0.52。

5.根据权利要求1所述的蚀刻机叶片系统,其特征在于,所述弧面结构的高度为叶片本体长度的1/10~1/2;

所述弧面结构的一端连接叶片本体,弧面结构与一端相对的另一端为自由端,所述自由端与叶片本体之间存在间隙,所述间隙允许腐蚀液进入弧面结构的凹面所形成的凹陷空间内。

6.根据权利要求1所述的蚀刻机叶片系统,其特征在于,所述挡板与叶片本体、转动轴分别垂直。

7.根据权利要求1所述的蚀刻机叶片系统,其特征在于,所述挡板的高度为1~4cm,挡板的设置方向与弧面结构的设置方向一致。

8.根据权利要求1所述的蚀刻机叶片系统,其特征在于,所述多个叶片结构之间的距离大于0且小于等于5cm。

9.一种蚀刻机,其特征在于,包括权利要求1所述的蚀刻机叶片系统。

10.根据权利要求9所述的蚀刻机,其特征在于,所述蚀刻机还包括箱体、转盘、盖子、支脚,所述蚀刻机叶片系统设置在箱体内,并设置在转盘的下方;所述转盘设置在盖子的下方,盖子设置在箱体的顶部,支脚设置在箱体的底部;所述弧面结构运动到最高位置时与箱体内的腐蚀液相分类,弧面结构运动到最低位置时部分或全部浸没在箱体内的腐蚀液中。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海镁印科技有限公司,未经上海镁印科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021827614.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top