[实用新型]一种可冷却铜盘的探针台有效
申请号: | 202021828447.5 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN212905055U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 吴俊;陈凯跃 | 申请(专利权)人: | 珠海市中芯集成电路有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R31/28 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 卢泽明 |
地址: | 519000 广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 冷却 探针 | ||
1.一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,包括:
基座(100);
铜盘(200),连接有驱动机构(300),可转动设置在所述基座(100)上;
第一冷却组件,包括可拆卸安装在所述基座(100)上的主体(401),所述主体(401)上靠近所述铜盘(200)的一端设置有气嘴(402),所述气嘴(402)连接有外置的冷却管(600);
第二冷却组件(500),固定安装在所述基座(100)上,所述第二冷却组件(500)位于所述铜盘(200)的下方。
2.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述基座(100)呈中空的圆盘状,所述铜盘(200)设置在所述基座(100)的下方,所述气嘴(402)自所述主体(401)倾斜朝下设置。
3.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述基座(100)上设置有定位孔,所述主体(401)的下端面设置有与所述定位孔相配合的定位销。
4.根据权利要求3所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述主体(401)与所述基座(100)通过螺钉连接。
5.根据权利要求3所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述基座(100)采用金属材料制成,所述主体(401)的下端面镶嵌有永磁体。
6.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述第二冷却组件(500)包括圆形盘管(501),所述圆形盘管(501)连接有外置的冷却管(600)。
7.根据权利要求6所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述驱动机构(300)设置在所述铜盘(200)的下方,所述第二冷却组件(500)上设置有用于让位所述驱动机构(300)的中空部(502)。
8.根据权利要求7所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述驱动机构(300)为伺服电机,所述驱动机构(300)通过联轴器穿过所述第二冷却组件(500)的中空部(502)并连接所述铜盘(200)。
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