[实用新型]一种可冷却铜盘的探针台

权利要求书

1.一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，包括：

基座(100)；

铜盘(200)，连接有驱动机构(300)，可转动设置在所述基座(100)上；

第一冷却组件，包括可拆卸安装在所述基座(100)上的主体(401)，所述主体(401)上靠近所述铜盘(200)的一端设置有气嘴(402)，所述气嘴(402)连接有外置的冷却管(600)；

第二冷却组件(500)，固定安装在所述基座(100)上，所述第二冷却组件(500)位于所述铜盘(200)的下方。

2.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述基座(100)呈中空的圆盘状，所述铜盘(200)设置在所述基座(100)的下方，所述气嘴(402)自所述主体(401)倾斜朝下设置。

3.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述基座(100)上设置有定位孔，所述主体(401)的下端面设置有与所述定位孔相配合的定位销。

4.根据权利要求3所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述主体(401)与所述基座(100)通过螺钉连接。

5.根据权利要求3所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述基座(100)采用金属材料制成，所述主体(401)的下端面镶嵌有永磁体。

6.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述第二冷却组件(500)包括圆形盘管(501)，所述圆形盘管(501)连接有外置的冷却管(600)。

7.根据权利要求6所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述驱动机构(300)设置在所述铜盘(200)的下方，所述第二冷却组件(500)上设置有用于让位所述驱动机构(300)的中空部(502)。

8.根据权利要求7所述的一种可冷却铜盘的探针台，其特征在于，所述驱动机构(300)为伺服电机，所述驱动机构(300)通过联轴器穿过所述第二冷却组件(500)的中空部(502)并连接所述铜盘(200)。