[实用新型]一种可冷却铜盘的探针台有效

专利信息
申请号: 202021828447.5 申请日: 2020-08-27
公开(公告)号: CN212905055U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 吴俊;陈凯跃 申请(专利权)人: 珠海市中芯集成电路有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067;G01R31/28
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 卢泽明
地址: 519000 广东省珠海*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 冷却 探针
【权利要求书】:

1.一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,包括:

基座(100);

铜盘(200),连接有驱动机构(300),可转动设置在所述基座(100)上;

第一冷却组件,包括可拆卸安装在所述基座(100)上的主体(401),所述主体(401)上靠近所述铜盘(200)的一端设置有气嘴(402),所述气嘴(402)连接有外置的冷却管(600);

第二冷却组件(500),固定安装在所述基座(100)上,所述第二冷却组件(500)位于所述铜盘(200)的下方。

2.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述基座(100)呈中空的圆盘状,所述铜盘(200)设置在所述基座(100)的下方,所述气嘴(402)自所述主体(401)倾斜朝下设置。

3.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述基座(100)上设置有定位孔,所述主体(401)的下端面设置有与所述定位孔相配合的定位销。

4.根据权利要求3所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述主体(401)与所述基座(100)通过螺钉连接。

5.根据权利要求3所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述基座(100)采用金属材料制成,所述主体(401)的下端面镶嵌有永磁体。

6.根据权利要求1所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述第二冷却组件(500)包括圆形盘管(501),所述圆形盘管(501)连接有外置的冷却管(600)。

7.根据权利要求6所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述驱动机构(300)设置在所述铜盘(200)的下方,所述第二冷却组件(500)上设置有用于让位所述驱动机构(300)的中空部(502)。

8.根据权利要求7所述的一种可冷却铜盘的探针台,其特征在于,所述驱动机构(300)为伺服电机,所述驱动机构(300)通过联轴器穿过所述第二冷却组件(500)的中空部(502)并连接所述铜盘(200)。

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