[实用新型]一种半蚀刻掩膜板结构

权利要求书

1.一种半蚀刻掩膜板结构，掩膜板包括用于安装掩膜片的框架，其特征在于，所述框架呈一拼接式矩形体结构设置，所述框架包括相互平行的两竖边框、相互平行的两横边框，所述竖边框两端分别开设一卡槽，所述横边框两端分别设有与所述卡槽卡接的卡台，所述卡槽和所述卡台上分别开设有相互对应的卡孔，所述卡孔内安装有固定销；

还包括架设于两所述竖边框的若干支撑板，所述支撑板包括支撑部和滑动部，两所述竖边框表面中部分别沿竖直方向开设一插入口，两所述竖边框相对的内侧面沿其长度方向分别开设一滑槽，所述滑槽与所述插入口连通，所述支撑板两端的滑动部插入所述插入口滑动安装于滑槽内，且所述滑槽上下两侧面沿其长度方向对称开设有若干定位孔，所述滑动部设有与所述定位孔分别一一适配的弹性定位件；

两所述横边框表面沿其长度方向分别开设一支撑槽，所述支撑槽表面与所述支撑板上表面平齐，所述掩膜片设于所述支撑板上方，且所述掩膜片两端分别架设于所述支撑槽，所述掩膜片与所述支撑板接触的位置焊接。

2.如权利要求1所述的半蚀刻掩膜板结构，其特征在于，所述掩膜片设置为长条状或板状结构，所述掩膜片表面开设有蒸镀图案孔。

3.如权利要求1所述的半蚀刻掩膜板结构，其特征在于，所述定位孔设置为所述竖边框表面沿竖直方向开设的通孔结构。

4.如权利要求3所述的半蚀刻掩膜板结构，其特征在于，所述弹性定位件设置为弹簧柱塞。

5.如权利要求1所述的半蚀刻掩膜板结构，其特征在于，所述支撑部和所述滑动部设置为矩形板状一体结构。