[实用新型]一种半蚀刻掩膜板结构有效
申请号: | 202021831801.X | 申请日: | 2020-08-26 |
公开(公告)号: | CN212833993U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 谭照明 | 申请(专利权)人: | 深圳市鑫旺兴电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人: | 梁炎芳;谭雪婷 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蚀刻 板结 | ||
本实用新型公开了一种半蚀刻掩膜板结构,包括用于安装掩膜片的框架,框架包括相互平行的两竖边框、两横边框,竖边框两端开设一卡槽,横边框两端设有卡台,卡槽和卡台上开设有卡孔,卡孔内安装有固定销;还包括架设于两竖边框的支撑板,支撑板包括支撑部和滑动部,两竖边框表面中部开设一插入口,两竖边框内侧面开设一滑槽,滑槽与插入口连通,且滑槽上下两侧面开设有定位孔,滑动部设有弹性定位件;两横边框开设一支撑槽,掩膜片设于支撑板上方,且掩膜片两端架设于支撑槽,掩膜片与支撑板接触的位置焊接。本实用新型技术方案实现掩膜板的结构调节,提高掩膜片的安装稳定性。
技术领域
本实用新型涉及显示技术领域,特别涉及一种半蚀刻掩膜板结构。
背景技术
有机发光二极管(OLED)显示装置具有自发光、驱动电压低,发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、使用温度范围广等优点,被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。在OLED显示器的制造过程中,将掩膜片作为蒸镀掩膜,在基板上形成蒸镀图案。蒸镀过程中,通常将掩膜片安装于支架上,但是,现有的支架为固定结构,无法拆卸,无法根据掩膜片的实际尺寸进行调整,同时,在蒸镀过程中,掩膜片安装结构不稳定,掩膜片会发生微小形变,影响产品的良率。
因此,现有技术存在缺陷,需要改进。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是提出一种半蚀刻掩膜板结构,旨在改善掩膜板的结构,实现掩膜板的结构调节,提高掩膜片的安装稳定性。
为实现上述目的,本实用新型提出的一种半蚀刻掩膜板结构,掩膜板包括用于安装掩膜片的框架,所述框架呈一拼接式矩形体结构设置,所述框架包括相互平行的两竖边框、相互平行的两横边框,所述竖边框两端分别开设一卡槽,所述横边框两端分别设有与所述卡槽卡接的卡台,所述卡槽和所述卡台上分别开设有相互对应的卡孔,所述卡孔内安装有固定销;
还包括架设于两所述竖边框的若干支撑板,所述支撑板包括支撑部和滑动部,两所述竖边框表面中部分别沿竖直方向开设一插入口,两所述竖边框相对的内侧面沿其长度方向分别开设一滑槽,所述滑槽与所述插入口连通,所述支撑板两端的滑动部插入所述插入口滑动安装于滑槽内,且所述滑槽上下两侧面沿其长度方向对称开设有若干定位孔,所述滑动部设有与所述定位孔分别一一适配的弹性定位件;
两所述横边框表面沿其长度方向分别开设一支撑槽,所述支撑槽表面与所述支撑板上表面平齐,所述掩膜片设于所述支撑板上方,且所述掩膜片两端分别架设于所述支撑槽,所述掩膜片与所述支撑板接触的位置焊接。
优选地,所述掩膜片设置为长条状或板状结构,所述掩膜片表面开设有蒸镀图案孔。
优选地,所述定位孔设置为所述竖边框表面沿竖直方向开设的通孔结构。
优选地,所述弹性定位件设置为弹簧柱塞。
优选地,所述支撑部和所述滑动部设置为矩形板状一体结构。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:改善了传统掩膜板的结构,将掩膜板主体设置为可拆卸的框架结构,框架包括相互拼接的横边框和竖边框,横边框和竖边框之间通过卡槽和卡台卡接,且卡槽和卡台之间通过卡孔与固定销的插接进一步提高框架的稳定性,方便安装和拆卸,从而可以根据实际掩膜片的尺寸,选择不同长度的横边框和竖边框进行拼接,大大提高了掩膜板的适用范围。
同时改善了传统掩膜片的安装结构,其中,支撑板采用可拆卸滑动安装结构,具体在竖边框上开设滑槽,支撑板滑动架设于滑槽内,且通过定位孔和弹性定位件的卡接保证安装的稳定性,支撑板可以根据实际生产需求,调整其安装数量及相邻两支撑板之间的间距,还可以更换不同长度的支撑板,适应不同尺寸的掩膜片安装,提高对不同掩膜片的支撑稳定性;
掩膜片通过焊接的方式安装在支撑板上方,防止掩膜片在蒸镀过程中发生变形,提高了产品的生产良率,降低了生产成本。
附图说明
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