[实用新型]一种晶圆转切割设备

权利要求书

1.一种晶圆转切割设备,其结构包括底座(1)、底座支架(2)、电控箱(3)、控制面板(4)、外框架(5)、工作台(6)、冷却装置(7)，其特征在于：

所述底座支架(2)设有四个，并围绕底座(1)下端四角对称分布，所述底座支架(2)嵌固连接与底座(1)下端，所述电控箱(3)活动卡合与底座(1)前端下部分，所述控制面板(4)嵌固连接与底座(1)前端上部分，所述外框架(5)嵌固连接与控制面板(4)左端，所述工作台(6)设在外框架(5)内部，所述冷却装置(7)设在底座(1)内部，所述冷却装置(7)设在电控箱(3)后端；

所述冷却装置(7)主要由冷却水塔(A)、进水管道(B)、出水管道(C)、冷凝管(D)、蒸发管(F)、冻水泵(G)、冷却管道(H)、水箱(I)、冷水泵(J)、压缩机(K)、加热管(L)所组成，所述冷却水塔(A)与进水管道(B)过渡配合，所述冷却水塔(A)与出水管道(C)过渡配合，所述冷凝管(D)与进水管道(B)过渡配合，所述冷凝管(D)与出水管道(C)过渡配合，所述蒸发管(F)设有两个，左侧所述蒸发管(F)与冷却管道(H)过渡配合，左侧所述蒸发管(F)与进水管道(B)间隙配合，所述冻水泵(G)嵌固连接与冷却管道(H)右端下部分，所述冷却管道(H)间隙配合与水箱(I)上端，所述水箱(I)通过出水管道(C)与冷水泵(J)嵌固连接，所述冷水泵(J)过渡配合与出水管道(C)，右侧所述蒸发管(F)通过出水管道(C) 与冷水泵(J)过渡配合，所述蒸发管(F)与压缩机(K)过渡配合，所述压缩机(K)通过出水管道(C)与冷凝管(D)过渡配合，所述加热管(L)与两个所述蒸发管(F)嵌固连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆转切割设备，其特征在于：所述工作台(6)上主要由吸盘(61)、承载座(62)、活动卡槽(63)、承载盘(64)所组成，所述吸盘(61)嵌固连接与承载盘(64)内，所述承载盘(64)通过活动卡槽(63)与承载座(62)活动卡合。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆转切割设备，其特征在于：所述压缩机(K)内主要由气阀(K1)、活塞(K2)、十字轴(K3)、连杆(K4)、活塞杆(K5)、曲轴(K6)所组成，所述气阀(K1)设有两个，所述气阀(K1)嵌固连接与压缩机上端，所述活塞(K2)与活塞杆(K5)嵌固连接，所述十字轴(K3)与连杆(K4)活动卡合，所述活塞杆(K5)与十字轴(K3)过渡连接，所述曲轴(K6)与连杆(K4)活动卡合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆转切割设备，其特征在于：所述冷却水塔(A)内设有冷却块(A1)。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆转切割设备，其特征在于：所述进水管道(B)设有水泵(B1)，所述进水管道(B)与水泵(B1)过渡配合。