[实用新型]一种可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂有效
| 申请号： | 202021835896.2 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN213439063U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 谢华伟 | 申请（专利权）人： | 苏州铼铂机电科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/30 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张俊范 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 研磨 夹具 旋转 主动 轮摆臂 | ||
【权利要求书】：
1.一种可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂，包括半月叉臂，所述半月叉臂的两端分别设有夹具滚轮，其特征在于，所述夹具滚轮的轴线垂直于所述半月叉臂的叉型平面，所述半月叉臂的一端设有驱动所述夹具滚轮转动的动力源。
2.根据权利要求1所述的可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂，其特征在于，所述动力源为电机，所述电机连接主动滚轮，所述主动滚轮通过线绳O形圈驱动所述夹具滚轮。
3.根据权利要求1所述的可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂，其特征在于，所述夹具滚轮的外圆面设有聚氨酯摩擦接触层。
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