[实用新型]一种可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂

说明书

本实用新型公开了一种可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂，包括半月叉臂，所述半月叉臂的两端分别设有夹具滚轮，所述夹具滚轮的轴线垂直于所述半月叉臂的叉型平面，所述半月叉臂的一端设有驱动所述夹具滚轮转动的动力源。本实用新型能驱动研磨夹具进行主动转动，避免研磨摩擦力过小导致晶圆转速不稳的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种研磨装置的夹具控制组件，特别是涉及一种可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂。

背景技术

在半导体晶圆的后道工艺制程中，需要对正面完成光刻蚀刻等工艺的晶圆进行背面减薄抛光，以利于晶圆工作过程中的散热等需求。

在减薄抛光的过程中，需要把晶圆吸附在夹具下面(有的晶圆是使用蜡粘接在衬底上，然后夹具吸附住衬底)，然后把吸附住晶圆的夹具放在磨盘上，夹具的底面圆弧卡在半月形的摆臂滚轮上，摆臂的主要目的是限制夹具的位置。在研磨时，研磨液均匀滴落在磨盘上，磨盘开始转动，带动夹具旋转，夹具底面的晶圆通过研磨液的摩擦作用慢慢磨薄。

传统的半月形摆臂左右两端配有两个橡胶轮，两个橡胶轮自身没有动力，是从动轮，磨盘转动的时候，会带动夹具转动，而夹具的转动则带动了两个橡胶轮转动；但是在磨盘表面比较光滑或者研磨液的颗粒比较细的时候，研磨液与晶圆的摩擦力小于夹具的转动阻力，就会发生夹具转速不夹均或者转不动的情况，夹具不转会造成了晶圆研磨不稳定，表面平整度差，无法满足减薄抛光的质量要求。

实用新型内容

针对上述现有技术缺陷，本实用新型的任务在于提供一种可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂，避免研磨夹具出现因与磨盘间摩擦力过小而转速不稳定的问题。

本实用新型技术方案如下：一种可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂，包括半月叉臂，所述半月叉臂的两端分别设有夹具滚轮，所述夹具滚轮的轴线垂直于所述半月叉臂的叉型平面，所述半月叉臂的一端设有驱动所述夹具滚轮转动的动力源。

进一步地，所述动力源为电机，所述电机连接主动滚轮，所述主动滚轮通过线绳O形圈驱动所述夹具滚轮。

进一步地，所述夹具滚轮的外圆面设有聚氨酯摩擦接触层。

本实用新型与现有技术相比的优点在于：夹具滚轮由完全从动变为一个主动一个从动，保证了晶圆能够稳定地转动，从而提高晶圆研磨抛光的平整度，并且可以通过摆臂控制加快夹具旋转，增大晶圆与研磨液的摩擦速度，提高研磨的效率。

附图说明

图1为可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂立体结构示意图。

图2为主动轮摆臂驱动夹具的平面结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实用新型的限定。

为了更好地理解本实用新型，请结合图1所示，本实施例涉及的可驱动晶圆研磨夹具旋转的主动轮摆臂包括一个半环形的半月叉臂1，在半月叉臂1的两端分别安装有夹具滚轮2，夹具滚轮2可自由转动，两个夹具滚轮2的转轴相互平行均垂直于半月叉臂1的叉型平面。在现有技术中，该半月叉臂1的主要作用是限制研磨夹具6的位置，研磨夹具6的下端为圆柱状，其外侧面倚靠在两个夹具滚轮2上，由于研磨盘的摩擦力作用使研磨夹具6转动，进而夹具滚轮2也跟随研磨夹具6转动。在本实施例中，在半月叉臂1的一端设置了可调速的无刷直流电机3作为动力源，无刷直流电机3的转轴连接一个主动滚轮4，主动滚轮4的转轴也是垂直于半月叉臂1的叉型平面。请结合图2所示，在主动滚轮4和夹具滚轮2之间通过线绳O形圈5连接，为了增加夹具滚轮2与研磨夹具6间的摩擦，在夹具滚轮2的外圆面设有聚氨酯摩擦接触层2a。该装置运行时，由可调速的无刷直流电机3驱动半月叉臂1一端的夹具滚轮2转动，由夹具滚轮2与研磨夹具6间的摩擦驱动研磨夹具6转动，再由研磨夹具6与另一端的夹具滚轮2的摩擦驱动另一端的夹具滚轮2转动，由于研磨夹具6由原来的研磨盘通过不稳定的摩擦力(依靠研磨液与晶圆间的摩擦)变为现在稳定的电机驱动，可保持稳定的转速从而保证研磨效果，同时还可以根据需要提高研磨夹具转速以提高研磨效率。