[实用新型]一种激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；

所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器的出光侧，且所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上；

所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块和所述减光滤镜，所述减光滤镜用于减小所述激光器出射光束的能量。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括反射镜，所述反射镜位于所述激光器与所述工件载台之间的光路上。

3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括物镜，所述物镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上，且所述物镜靠近所述工件载台。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜包括反射式滤光镜和\或吸收式滤光镜。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜位于所述能量衰减模块与所述工件载台之间的光路上。

6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜包括反射式滤光镜，所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块后通过所述反射式滤光镜，所述反射式滤光镜将光束分为反射光和透射光，所述反射光反射至光线吸收池，所述透射光透过所述反射式滤光镜达到所述工件载台。

7.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜包括吸收式滤光镜，所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块后通过所述吸收式滤光镜，所述吸收式滤光镜将光束分为吸收光和透射光，所述吸收光被所述吸收式滤光镜吸收，所述透射光透过所述吸收式滤光镜达到所述工件载台。

8.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述能量衰减模块包括旋转电机、二分之一波片和偏光片，所述旋转电机用于驱动所述二分之一波片绕其光轴方向旋转，所述激光器出射的光束经所述二分之一波片出射至所述偏光片，经所述偏光片后出射。

9.根据权利要求8所述的激光加工装置，其特征在于，还包括控制模块，所述控制模块与所述旋转电机电连接，所述控制模块用于控制所述旋转电机旋转。