[实用新型]一种激光加工装置

说明书

本实用新型公开了一种激光加工装置，该加工装置包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；能量衰减模块和减光滤镜位于激光器的出光侧，且能量衰减模块和减光滤镜位于激光器与工件载台之间的光路上；激光器发出的光束经过能量衰减模块和减光滤镜，减光滤镜用于减小激光器出射光束的能量。在本实用新型实施例中，通过在激光器出射的光路上设置能量衰减模块和减光滤镜，利用减光滤镜改变激光器出射光束的能量，增大了能量衰减模块的可调范围，实现了对敏感工件的加工生产。

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及一种激光加工装置。

背景技术

激光加工其加工原理主要是利用激光器产生的高能粒子对工件的表面进行熔化和气化。由于激光光束具有很好的稳定性和抗干扰性，并且对被加工工件的限制条件如加工的形状、尺寸、环境较少，因此可对大部分金属材料和非金属材料进行高质量、高精度加工。

现有技术中采用激光光束对工件表面进行加工时，一般通过在激光器出光侧设置能量衰减器来调节激光出射的能量，当产品对激光加工的能量较敏感时，会使得激光衰减器的可调整范围很小，不利于实现激光对工件的生产加工。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种激光加工装置，提高了能量衰减模块的可调范围，实现了对敏感加工工件的加工生产。

本实用新型实施例提供了一种激光加工装置，包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；

所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器的出光侧，且所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上；

所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块和所述减光滤镜，所述减光滤镜用于减小所述激光器出射光束的能量。

可选的，还包括反射镜，所述反射镜位于所述反射镜与所述工件载台之间的光路上。

可选的，还包括物镜，所述激光器与工件载台之间的光路上，且所述物镜靠近所述工件载台。

可选的，所述减光滤镜包括反射式滤光镜和\或吸收式滤光镜。

可选的，所述减光滤镜位于所述能量衰减模块与所述工件载台之间的光路上。

可选的，所述减光滤镜包括反射式滤光镜，所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块后通过所述反射式滤光镜，所述反射式滤光镜将光束分为反射光和透射光，所述反射光反射至光线吸收池，所述透射光透过所述反射式滤光镜达到所述工件载台。

可选的，所述减光滤镜包括吸收式滤光镜，所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块后通过所述吸收式滤光镜，所述吸收式滤光镜将光束分为吸收光和透射光，所述吸收光被所述吸收式滤光镜吸收，所述透射光透过所述吸收式滤光镜达到所述工件载台。

可选的，所述能量衰减模块包括旋转电机、二分之一波片和偏光片，所述旋转电机用于驱动所述二分之一波片绕其光轴方向旋转，所述激光器出射的光束经所述二分之一波片出射至所述偏光片，经所述偏光片后出射。

可选的，还包括控制模块，所述控制模块与所述旋转电机电连接，所述控制模块用于控制所述旋转电机旋转。

本实用新型实施例提供的激光加工装置，通过在激光加工装置的加工光路上设置能量衰减模块和减光滤镜，且减光滤镜位于能量衰减模块和工件载台之间的激光光路上，利用减光滤镜对激光光束的能量进行衰减，进而使得能量衰减模块对激光光束能量的可调节范围增大，使得激光加工装置对敏感工件进行加工时，保证能量衰减模块的可调节范围增大，实现对敏感工件的精确加工。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的现有技术中激光加工装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种激光加工装置的结构示意图；