[实用新型]一种扩散炉用冷却装置有效
申请号: | 202021843261.7 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN212806593U | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
发明(设计)人: | 刘明利;迟公超;于洋 | 申请(专利权)人: | 青岛赛尔微电子有限公司 |
主分类号: | F27D17/00 | 分类号: | F27D17/00;F28D5/02;F28F9/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扩散 冷却 装置 | ||
1.一种扩散炉用冷却装置,包括导气箱(1),其特征在于:所述导气箱(1)一侧的底部固定安装有进气罩(2),进气罩(2)的底部连接有进气管(3),导气箱(1)的底部安装有废液收集罩(4),导气箱(1)的内部安装有冷却箱(5),冷却箱(5)的顶部安装有导气管(6),导气管(6)的一端安装有二次处理箱(7),二次处理箱(7)顶部的一端安装有排气端(8),二次处理箱(7)的内部安装有透气水板(9)。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉用冷却装置,其特征在于:所述废液收集罩(4)包括三角状积液斗和第一排污管,三角状积液斗固定安装在导气箱(1)的底部,第一排污管固定安装有三角状积液斗的底部。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉用冷却装置,其特征在于:所述冷却箱(5)的内部设有两个降温腔(501),冷却箱(5)的中部设有连续弯曲通气道(502),连续弯曲通气道(502)的顶部与导气管(6)的另一端固定相连接,冷却箱(5)两侧的底部均固定安装有第一排水管(503),两个第一排水管(503)的一端均延伸至导气箱(1)的外部,导气箱(1)顶部的两端均固定安装有第一进水管(504)。
4.根据权利要求3所述的一种扩散炉用冷却装置,其特征在于:两个所述降温腔(501)的内部均安装有导水管(505),两个导水管(505)的顶部分别与两个第一进水管(504)的一端相连接,且两个导水管(505)的表面均等距离安装有洒水喷头(506)。
5.根据权利要求1所述的一种扩散炉用冷却装置,其特征在于:所述排气端(8)包括排气罩(801)、吸风机(802)和排气管(803),排气罩(801)固定安装在二次处理箱(7)顶部的一端,吸风机(802)安装在排气罩(801)的顶部,排气管(803)安装在吸风机(802)的顶部,二次处理箱(7)底部的一端安装有第二排污管(701)。
6.根据权利要求1所述的一种扩散炉用冷却装置,其特征在于:所述透气水板(9)的中部等距离开设有气孔(901),透气水板(9)的两端分别等距离安装有第二进水管(902)和第二出水管(903),第二进水管(902)和第二出水管(903)的一端均延伸至二次处理箱(7)的外部。
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