[实用新型]一种扩散炉用冷却装置

说明书

本实用新型涉及扩散炉技术领域，且公开了一种扩散炉用冷却装置，解决了现有扩散炉废气冷却装置不能全面有效的对废气进行处理，从而导致废气处理效果差、效率低的问题，其包括导气箱，所述导气箱一侧的底部固定安装有进气罩，进气罩的底部连接有进气管，导气箱的底部安装有废液收集罩，导气箱的内部安装有冷却箱，冷却箱的顶部安装有导气管，导气管的一端安装有二次处理箱，二次处理箱顶部的一端安装有排气端，二次处理箱的内部安装有透气水板；本扩散炉用冷却装置在使用的过程中能够对废气进行双重降温处理，从而能够对废气进行全面有效的降温冷凝作用，使废气能够有效的形成废液，确保了废气的处理效果和处理效率。

技术领域

本实用新型属于扩散炉技术领域，具体为一种扩散炉用冷却装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

扩散炉在使用加工的过程中会产生高温废气，而高温废气中带有大量的有害物质，因此，高温废气在排放之前需要对废气进行降温和冷凝，从而使废气中的有害物质形成废液；但现有扩散炉废气冷却装置在使用的过程中不能全面有效的对废气进行处理，从而导致废气处理的效果差、效率低；因此，针对目前的状况，现需对其进行改进。

实用新型内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种扩散炉用冷却装置，有效的解决了现有扩散炉废气冷却装置不能全面有效的对废气进行处理，从而导致废气处理效果差、效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散炉用冷却装置，包括导气箱，所述导气箱一侧的底部固定安装有进气罩，进气罩的底部连接有进气管，导气箱的底部安装有废液收集罩，导气箱的内部安装有冷却箱，冷却箱的顶部安装有导气管，导气管的一端安装有二次处理箱，二次处理箱顶部的一端安装有排气端，二次处理箱的内部安装有透气水板。

优选的，所述废液收集罩包括三角状积液斗和第一排污管，三角状积液斗固定安装在导气箱的底部，第一排污管固定安装有三角状积液斗的底部。

优选的，所述冷却箱的内部设有两个降温腔，冷却箱的中部设有连续弯曲通气道，连续弯曲通气道的顶部与导气管的另一端固定相连接，冷却箱两侧的底部均固定安装有第一排水管，两个第一排水管的一端均延伸至导气箱的外部，导气箱顶部的两端均固定安装有第一进水管。

优选的，两个所述降温腔的内部均安装有导水管，两个导水管的顶部分别与两个第一进水管的一端相连接，且两个导水管的表面均等距离安装有洒水喷头。

优选的，所述排气端包括排气罩、吸风机和排气管，排气罩固定安装在二次处理箱顶部的一端，吸风机安装在排气罩的顶部，排气管安装在吸风机的顶部，二次处理箱底部的一端安装有第二排污管。

优选的，所述透气水板的中部等距离开设有气孔，透气水板的两端分别等距离安装有第二进水管和第二出水管，第二进水管和第二出水管的一端均延伸至二次处理箱的外部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、在工作中，通过设置有导气箱、废液收集罩、冷却箱、降温腔、连续弯曲通气道、第一排水管、第一进水管、导水管、洒水喷头、导气管、二次处理箱、排气端、排气罩、吸风机、排气管、透气水板、气孔、第二进水管和第二出水管，使本扩散炉用冷却装置在使用的过程中能够对废气进行双重降温处理，从而能够对废气进行全面有效的降温冷凝作用，使废气能够有效的形成废液，确保了废气的处理效果和处理效率；