[实用新型]一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置

权利要求书

1.一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置，包括镀膜机（1）、真空机（2），其特征在于：所述镀膜机（1）背面固定安装有集气室（3），且集气室（3）的左右两侧固定安装有硬质分散管（4），所述集气室（3）外部的一端螺纹套接有螺纹端盖（5），且螺纹端盖（5）的背面固定安装有螺纹端盖（5），所述螺纹端盖（5）的背面固定安装有螺纹管（6），所述集气室（3）的内部螺纹套接有两个压环（7），且两个压环（7）的内部活动安装有一级过滤棉（8）与二级过滤棉（9），所述集气室（3）的内部活动安装有位于压环（7）一侧的橡胶垫（10），所述真空机（2）位于镀膜机（1）的背面，所述真空机（2）的进气口固定安装有硬质连接管（11），且硬质连接管（11）的外部活动套接有连接套筒（12），所述连接套筒（12）螺纹套接在螺纹管（6）的外部。

2.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置，其特征在于：所述硬质分散管（4）位于镀膜机（1）的左右以及顶部，所述硬质分散管（4）的进气端与镀膜机（1）固定连通。

3.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置，其特征在于：所述集气室（3）位于镀膜机（1）背面的中部，所述集气室（3）的外部开设有与螺纹端盖（5）相互配合的螺纹，所述螺纹端盖（5）的截面为多边形。

4.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置，其特征在于：所述集气室（3）的内部开设有与压环（7）相互配合的螺纹，所述压环（7）的内部固定安装有均匀分布的转杆。

5.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置，其特征在于：所述二级过滤棉（9）的规格大于一级过滤棉（8）的规格，所述一级过滤棉（8）与二级过滤棉（9）的直径值与集气室（3）的内径值相同。

6.根据权利要求1所述的一种CVD镀膜设备的真空室抽气装置，其特征在于：所述连接套筒（12）的截面为多边形，所述连接套筒（12）的内部活动安装有位于硬质连接管（11）外部的密封垫（13）。