[实用新型]一种晶圆翘曲矫正机构

权利要求书

1.一种晶圆翘曲矫正机构，包括第一电机（1）和输送装置（29），其特征在于：所述第一电机（1）安装在箱体（3）左端，且箱体（3）右端安装有第二电机（17），同时箱体（3）内安装有隔板（11），第一电机（1）的输出轴通过联轴器与第一旋转轴（4）连接，第一旋转轴（4）的另一端活动连接在隔板（11）上，同时第一铰接座（8）底部焊接有第二压板（28），并且第二压板（28）左右两端均通过导向块（10）活动连接在导向杆（2）上，第二压板（28）正下方设置有第二下压板（24），电动伸缩杆（27）设置在箱体（3）左侧内壁上，晶圆体（26）设置在第二下压板（24）上；

所述第二电机（17）的输出轴通过联轴器与第二旋转轴（12）连接，且第二旋转轴（12）中部设置有第二传动板（14），第二铰接座（16）底部焊接有第一压板（19），且第一压板（19）左右两端均通过导向块（10）活动连接在导向杆（2）上，水管（22）内部设置有冷凝器（21），且水管（22）一端连接在水箱（20）内部，同时水管（22）设置在第一下压板（23）顶部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆翘曲矫正机构，其特征在于：所述第二下压板（24）底部设置有热熔丝（25），且热熔丝（25）设置为两组。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆翘曲矫正机构，其特征在于：所述第一旋转轴（4）上设置有第一传动板（5），且第一传动板（5）上安装有第一连接块（6），第一连接板（7）一端活动连接在第一连接块（6）上，第一连接板（7）另一端与第一铰接座（8）相铰接，同时第一铰接座（8）下端焊接有第一升降块（9）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆翘曲矫正机构，其特征在于：所述输送装置（29）设置在第一下压板（23）和第二下压板（24）之间，且输送装置（29）中上的输送带为倾斜设置，同时输送装置（29）中上的输送带倾斜设置的角度为160°。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆翘曲矫正机构，其特征在于：所述第二旋转轴（12）中部设置有第二传动板（14），且第二传动板（14）上设置有第二连接块（13），同时第二连接块（13）与第二连接板（15）一端活动连接，并且第二连接板（15）另一端铰接在第二铰接座（16）上，第二铰接座（16）下端焊接有第二升降块（18）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆翘曲矫正机构，其特征在于：所述第一压板（19）和第二压板（28）的尺寸相同，第一下压板（23）和第二下压板（24）尺寸相同，同时第一下压板（23）和第二下压板（24）尺寸小于第一压板（19）和第二压板（28）的尺寸。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆翘曲矫正机构，其特征在于：所述水管（22）呈“S”形分布在第一下压板（23）内部顶端，且水管（22）两端均连接在水箱（20）内部。