[实用新型]一种晶圆使用装载机构

权利要求书

1.一种晶圆使用装载机构，包括机械臂（4）和晶圆盒（14），其特征在于：所述机械臂（4）的设置在底座（3）上，底座（3）底部设置支撑台（2），支撑台（2）底部设置支腿（1），机械臂（4）的内部设置吸管（5），机械臂（4）的头部设置吸盘（6），吸盘（6）底部设置传送带（8），传送带（8）上放置晶圆（7），传送带（8）内部设置齿轮（8.1），齿轮（8.1）与伺服电机（10）的转轴（9）连接，伺服电机（10）底部设置固定脚（12），固定脚（12）上设置固定螺栓（11），伺服电机（10）安装在固定台（13）上，固定台（13）底部设置支杆，所述晶圆盒（14）设置在传送带（8）右侧的晶圆盒放置台（15）上，晶圆盒放置台（15）底部设置支腿（1）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆使用装载机构，其特征在于：所述机械臂（4）由四根直筒通过转动轴承相互连接组成，机械臂（4）内部开设管路通道。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆使用装载机构，其特征在于：所述底座（3）为矩形空腔结构，底座（3）内部设置机械臂控制器和吸盘控制器。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆使用装载机构，其特征在于：所述齿轮（8.1）设置为两个，两个齿轮（8.1）分别放置在传送带（8）的左右两端位置，齿轮（8.1）上设置梯形条状齿块。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆使用装载机构，其特征在于：所述传送带（8）是以玻璃纤维为强力层，外覆聚氨酯制成的环形带，带的内周制成与齿轮（8.1）上梯形条状齿块相匹配的齿状。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆使用装载机构，其特征在于：所述晶圆盒（14）为圆柱形结构，晶圆盒（14）的盒体内部设置一层橡胶垫，晶圆盒（14）的盒盖与盒体之间用合页连接，晶圆盒（14）的盒盖上设置一层橡胶垫。