[实用新型]一种可调的DOE均匀性测试装置及系统有效
申请号: | 202021861491.6 | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN212779868U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 杨越越;张俊君 | 申请(专利权)人: | 深圳联纳科技有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 米志鹏 |
地址: | 518057 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可调 doe 均匀 测试 装置 系统 | ||
1.一种可调的DOE均匀性测试装置,包括发射器和接收器,所述发射器发出的光源经待测DOE后产生衍射散斑图,所述接收器用于采集所述衍射散斑图,其特征在于,还包括一基座,所述发射器和接收器布置在基座上,且发射器与接收器间的距离可调。
2.根据权利要求1所述的可调的DOE均匀性测试装置,其特征在于,还设置有固定所述接收器的承载臂,安装于所述基座的承载臂底座,所述的承载臂滑动配合安装在承载臂底座上。
3.根据权利要求1所述的可调的DOE均匀性测试装置,其特征在于,所述发射器的出射光路上设有放置待测DOE的载片,并设置固定所述载片的夹具。
4.根据权利要求3所述的可调的DOE均匀性测试装置,其特征在于,所述夹具包括中部镂空的托盘,固定所述载片于托盘上的固定器。
5.根据权利要求4所述的可调的DOE均匀性测试装置,其特征在于,所述固定器包括内嵌于托盘中的下磁性件,设置在载片上且与下磁性件相吸的上磁性件。
6.根据权利要求1所述的可调的DOE均匀性测试装置,其特征在于,所述基座上还设置有用于放置控制电路板的凹槽。
7.根据权利要求1所述的可调的DOE均匀性测试装置,其特征在于,所述基座上设置可拆卸式的发射器底座和接收器底座,发射器和接收器分别固定在发射器底座和接收器底座上。
8.根据权利要求1所述的可调的DOE均匀性测试装置,其特征在于,还包括用于投影所述衍射散斑图的接收屏。
9.一种可调的DOE均匀性测试系统,其特征在于,包括权利要求1-8中任一项所述的DOE均匀性测试装置;
还包括一处理器,用于分析所述接收器采集的衍射散斑图,判断DOE投射点阵的均匀性。
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