[实用新型]一种可调的DOE均匀性测试装置及系统

说明书

本实用新型公开了一种可调的DOE均匀性测试装置，包括发射器和接收器，所述发射器发出的光源经待测DOE后产生衍射散斑图，所述接收器用于采集所述衍射散斑图，上还包括一基座，所述发射器和接收器布置在基座上，且发射器与接收器间的距离可调。本实用新型结构简单，灵活性强，可拆卸，具有便携特性，可在多种场合场景下实现均匀性检测。

技术领域

本实用新型涉及光学测试技术领域，具体涉及一种可调的DOE均匀性测试装置及系统。

背景技术

DOE(衍射光学元件)作为结构光深度相机的核心元件，配合结构光模组投射出均匀散斑图案。而均匀性作为DOE的一项关键性能指标，决定着散斑成像质量的好坏，因此在DOE加工生产完成后，需要对均匀性指标进行检验，以剔除不达标产品。

但由于不同厂家设计的模组规格存在差异，现有的测试装置很难满足不同规格模组的测试。例如公开号为CN109813533A的专利说明书中公开了一种批量测试DOE衍射效率和均匀性的装置，包括：光源，用于发出所述的测量光，待测的DOE放置在光源的下方；接收屏，用于成像所述DOE产生的衍射图案；图像采集装置，用于拍摄所述的衍射光斑图；和计算机，根据待测DOE内各衍射光斑的灰度值G和实际衍射功率P，确定各衍射光斑最佳的功率矫正系数α；并在批量测量时，利用所述的功率矫正系数α计算各DOE的衍射效率和均匀性。此方案中，光源与图像采集装置的位置相对固定，因而不能对不同结构的模组进行测试，适用范围小，灵活性低。

或如公告号为CN208297922U和公开号为CN110523656A的专利中公开的测试设备均不能满足不同规格模组的测试，灵活兼容性低。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种可调的DOE均匀性测试装置，可以兼容不同基线距离的模组，灵活性强，同时可拆卸，具有便携性，可在多种场合场景下实现均匀性检测。

一种可调的DOE均匀性测试装置，包括发射器和接收器，所述发射器发出的光源经待测DOE后产生衍射散斑图，所述接收器用于采集所述衍射散斑图，其特征在于，还包括一基座，所述发射器和接收器布置在基座上，且发射器与接收器间的距离可调。

本实用新型通过设置距离可调的发射器和接收器，以兼容不同基线距离的模组，灵活性强。

为实现上述的距离可调，发射器和/或接收器是活动安装的，在基座上的位置可调，通过移动其中一个部件或两个部件同时移动，实现两者之间的距离可调。

作为优选，还设置有固定所述接收器的承载臂，安装于所述基座的承载臂底座，所述的承载臂滑动配合安装在承载臂底座上。承载臂底座可采用直线导轨或气缸等，用来驱动承载臂移动，移动灵活。

作为优选，所述发射器的出射光路上设有放置待测DOE的载片，并设置固定所述载片的夹具。

该载片可以但不局限为硅片；当对单个DOE进行测试时，通过夹具将载片固定到发射器的出射光路上；当对DOE进行批量测试时，通过移动夹具(或二维移动平台)使得光源依次通过每个DOE，具体地，夹具可安装于移动机构上，如安装于直线导轨上或气缸上，来实现夹具的移动。

进一步优选，所述夹具包括中部镂空的托盘，固定所述载片于托盘上的固定器。

更进一步优选，所述固定器包括内嵌于托盘中的下磁性件，设置在载片上且与下磁性件相吸的上磁性件。通过上、下磁性件将载片固定到托盘上操作方便，同时方便拆卸。

作为优选，所述基座上还设置有用于放置控制电路板的凹槽。凹槽可用来放置不同规格的控制电路板。

作为优选，所述基座上设置可拆卸式的发射器底座和接收器底座，发射器和接收器分别固定在发射器底座和接收器底座上。底座设置可以搭载不同尺寸的发射器或者接收器，从而兼容不同规格的模组。

作为优选，还包括用于投影所述衍射散斑图的接收屏。