[实用新型]一种石英舟硅片及沉积用装置

权利要求书

1.一种石英舟，其特征在于，包括：

支撑件，沿横向方向间隔设置有一对；

底载物件，两端分别与相应的支撑件连接固定，所述底载物件上设置有若干沿横向方向间隔设置的卡齿、形成于相邻两卡齿之间的卡槽和向上突设于所述卡槽内的突伸结构，在横向方向上所述突伸结构中间高两边低。

2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于：所述突伸结构的上表面呈弧形。

3.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于：所述突伸结构具有相交设置的第一导引面和第二导引面，且所述第一导引面的高度、所述第二导引面的高度均自相交位置向各自临近的卡齿的方向逐渐降低。

4.根据权利要求3所述的石英舟，其特征在于：所述突伸结构在横向方向上的截面呈三角形，且所述第一导引面和所述第二导引面为斜面并分别为三角形的两条边。

5.根据权利要求3所述的石英舟，其特征在于：所述第一导引面与所述第二导引面对称设置。

6.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于：所述石英舟还包括一对侧载物件，所述侧载物件与所述底载物件平行设置，且所述侧载物件的两端分别固定在相应的支撑件上；每一所述侧载物件上均设置有沿横向方向间隔设置的侧卡槽，所述侧卡槽与所述卡槽一一对应。

7.根据权利要求6所述的石英舟，其特征在于：一对所述侧载物件在水平面上平行设置，且所述侧载物件所在的水平面的高度高于所述底载物件所在水平面的高度。

8.根据权利要求6所述的石英舟，其特征在于：所述侧卡槽内也设置有所述突伸结构，且所述侧卡槽内的突伸结构与所述卡槽内的突伸结构一一对应。

9.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于：所述底载物件设置有两个，两个底载物件在水平面上平行设置。

10.一种硅片沉积用装置，其特征在于，包括：

炉管，所述炉管内限定出容纳腔；

承装座，所述承装座安装并设置在所述容纳腔内；以及

多个如权利要求1-9中任一项所述的用于装载硅片的石英舟，多个所述石英舟依次排列，所述石英舟安装于所述承装座的安装槽内。