[实用新型]一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构

权利要求书

1.一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体(1)和控制箱(2)，其特征在于：所述光刻机本体(1)的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴(3)，所述第一阻尼转轴(3)的表面固定连接有第一转动套(4)，所述控制箱(2)的上表面固定连接有第二阻尼转轴(5)，所述第二阻尼转轴(5)的表面转动连接有第二转动套(6)，所述第一转动套(4)的表面固定连接有伸缩管(7)，且伸缩管(7)的另一端与第二转动套(6)的表面固定连接，所述光刻机本体(1)的正面分别固定连接有锁紧装置(8)和开关按钮(9)。

2.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述控制箱(2)的下表面固定连接有把手(10)，所述控制箱(2)与光刻机本体(1)正面开设的矩形凹槽相适配。

3.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述锁紧装置(8)包括位于光刻机本体(1)正面的壳体(801)，所述壳体(801)的侧面开设有滑槽，且滑槽内滑动连接有锁紧舌(802)，所述锁紧舌(802)的一端固定连接有复位弹簧(803)，且复位弹簧(803)的另一端与壳体(801)的内侧壁固定连接，所述壳体(801)的内侧壁固定连接有硅钢柱(804)，且硅钢柱(804)的表面套设有线圈(805)。

4.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述锁紧装置(8)的数量为两个，且两个锁紧装置(8)对称设置在光刻机本体(1)正面开设的矩形凹槽两侧。

5.根据权利要求3所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述锁紧舌(802)远离复位弹簧(803)的一端设置有导向槽。

6.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述开关按钮(9)和线圈(805)均与外部电源电连接。