[实用新型]一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构

说明书

本实用新型公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体和控制箱，所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴，所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套，所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴，所述第二阻尼转轴的表面转动连接有第二转动套，所述第一转动套的表面固定连接有伸缩管。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置锁紧装置和开关按钮，便于按动开关按钮使线圈带电，同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌，使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出，从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。

技术领域

本实用新型涉及光刻机维修技术领域，具体为一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构。

背景技术

直写式光刻技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式光刻技术的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位。

目前的直列式光刻机控制面板均通过螺栓固定在直列式光刻机本体上，当控制面板出现故障和维护时，需要将控制面板表面的螺栓拆除，再将控制面板整体拆开，由于控制面板的线组均设置在光刻机本体的内部，使维护很不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体和控制箱，所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴，所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套，所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴，所述第二阻尼转轴的表面转动连接有第二转动套，所述第一转动套的表面固定连接有伸缩管，且伸缩管的另一端与第二转动套的表面固定连接，所述光刻机本体的正面分别固定连接有锁紧装置和开关按钮。

优选的，所述控制箱的下表面固定连接有把手，所述控制箱与光刻机本体正面开设的矩形凹槽相适配。

优选的，所述锁紧装置包括位于光刻机本体正面的壳体，所述壳体的侧面开设有滑槽，且滑槽内滑动连接有锁紧舌，所述锁紧舌的一端固定连接有复位弹簧，且复位弹簧的另一端与壳体的内侧壁固定连接，所述壳体的内侧壁固定连接有硅钢柱，且硅钢柱的表面套设有线圈。

优选的，所述锁紧装置的数量为两个，且两个锁紧装置对称设置在光刻机本体正面开设的矩形凹槽两侧。

优选的，所述锁紧舌远离复位弹簧的一端设置有导向槽。

优选的，所述开关按钮和线圈均与外部电源电连接。

有益效果

本实用新型提供了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，具备以下有益效果：

1.该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置第一阻尼转轴、第一转动套、伸缩杆、第二阻尼转轴和第二转动套，便于拉动把手将控制箱从光刻机本体正面的矩形凹槽内拉出，且控制箱可以360度旋转，使维修和操作更加的方便。

2.该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置锁紧装置和开关按钮，便于按动开关按钮使线圈带电，同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌，使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出，从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。

附图说明

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型左侧剖视结构示意图；

图3为锁紧装置正剖结构示意图。

图中：1光刻机本体、2控制箱、3第一阻尼转轴、4第一转动套、5第二阻尼转轴、6第二转动套、7伸缩管、8锁紧装置、801壳体、802锁紧舌、803复位弹簧、804硅钢柱、805线圈、9开关按钮、10把手。