[实用新型]一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构

权利要求书

1.一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构，包括真空罩，其特征在于：还包括弹性密封件以及滑动安装于真空罩内部的液冷载台组件，液冷载台组件包括液冷载台、出液空心支撑管和旋转驱动件，出液空心支撑管的上端突伸至真空罩内部并与液冷载台固定连接，出液空心支撑管的下端与旋转驱动件固定连接，出液空心支撑管滑动设置于真空罩底壁，弹性密封件为弹性环状体，弹性密封件套设于出液空心支撑管的外侧，弹性密封件的一端与真空罩底壁密封连接，弹性密封件的另一端与旋转驱动件密封连接；液冷载台上移时，弹性密封件处于压缩状态；液冷载台下移时，弹性密封件处于扩张状态；液冷载台内部设有液冷空腔，出液空心支撑管与液冷空腔连通，液冷空腔内转动安装有旋转导液盘，旋转驱动件的输出端与旋转导液盘连接，液冷空腔导入冷却液，旋转导液盘用于搅动液冷空腔内部的冷却液。

2.根据权利要求1所述的一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构，其特征在于：所述旋转导液盘包括导液平板以及设置于导液平板的多个页片，多个页片沿导液平板的中心轴线呈环形阵列，导液平板转动安装于液冷空腔内，多个页片用于搅动液冷空腔内部的冷却液，导液平板设有导液中心孔和装配凸环体，装配凸环体与导液中心孔共轴设置。

3.根据权利要求2所述的一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构，其特征在于：所述真空罩液冷结构还包括进液空心管，进液空心管设置于出液空心支撑管内部，进液空心管的下端与旋转驱动件的输出端连接，进液空心管的上端突伸至液冷空腔内并与装配凸环体卡接，进液空心管与导液中心孔连通，旋转驱动件用于驱使进液空心管和旋转导液盘转动。

4.根据权利要求3所述的一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构，其特征在于：所述旋转驱动件设有入液腔和出液腔，入液腔与进液空心管连通，出液腔与出液空心支撑管连通，冷却液依次流经入液腔、进液空心管、导液中心孔、液冷空腔、出液空心支撑管和出液腔。

5.根据权利要求1所述的一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构，其特征在于：所述出液空心支撑管与液冷载台之间设有密封圈。

6.根据权利要求1所述的一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构，其特征在于：所述液冷载台包括液冷载台本体以及安装于液冷载台本体的承载上盖，承载上盖与液冷载台本体之间设有密封圈。

7.根据权利要求1所述的一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构，其特征在于：所述真空罩液冷结构还包括固定安装于真空罩的直驱装置，直驱装置与液冷载台组件驱动连接。