[实用新型]一种带有弹性密封件的涂层装置

权利要求书

1.一种带有弹性密封件的涂层装置，包括真空罩，其特征在于：还包括液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩的底壁，液冷载台组件包括液冷载台和空心支撑管，空心支撑管滑动设置于真空罩底座冷盘，空心支撑管的上端突伸至真空罩内部并与液冷载台固定连接，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件套设于空心支撑管外侧，弹性密封件的一端与空心支撑管远离液冷载台的一端密封连接，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装。

2.根据权利要求1所述的一种带有弹性密封件的涂层装置，其特征在于：所述液冷载台组件还包括机架和升降驱动结构，机架固定安装于真空罩底部，升降驱动结构安装于机架并与空心支撑管驱动连接，液冷载台内部设有液冷空腔，空心支撑管与液冷空腔连通。

3.根据权利要求2所述的一种带有弹性密封件的涂层装置，其特征在于：所述升降驱动结构包括固定安装于机架的升降驱动本体以及与升降驱动本体驱动连接的承载架，承载架的一端滑动设置于机架，承载架的另一端与空心支撑管固定安装，升降驱动本体经由承载架驱使空心支撑管和液冷载台的升降，机架上安装有相互平行设置的多个第一导向杆，多个第一导向杆分别穿过承载架，承载架沿着第一导向杆移动。

4.根据权利要求1所述的一种带有弹性密封件的涂层装置，其特征在于：所述液冷载台包括液冷载台本体以及安装于液冷载台本体的承载上盖，承载上盖与液冷载台本体之间设有密封圈，刀具承载于承载上盖。

5.根据权利要求1所述的一种带有弹性密封件的涂层装置，其特征在于：所述真空罩底座冷盘包括密封安装于真空罩底部的冷盘本体以及设置于冷盘本体内部的冷盘空腔，冷盘空腔导入流动的冷却液，以用于冷却冷盘本体，空心支撑管穿过冷盘本体并滑动设置于冷盘本体。

6.根据权利要求5所述的一种带有弹性密封件的涂层装置，其特征在于：所述冷盘本体固定安装有相互平行设置的多个第二导向杆，多个第二导向杆分别与空心支撑管滑动连接。

7.根据权利要求1所述的一种带有弹性密封件的涂层装置，其特征在于：所述弹性密封件为弹性环状体；液冷载台上移和下移时，弹性密封件分别处于压缩状态和扩张状态。