[实用新型]一种带有液冷载台组件的真空涂层机构

权利要求书

1.一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，包括真空罩，其特征在于：还包括液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台组件和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件套设于液冷载台组件，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装，真空罩包括真空罩本体、设置于真空罩本体的抽气密封法兰、设置于真空罩本体内部的温度检测器以及转动安装于真空罩本体的密封挡门，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩本体的底壁，液冷载台组件滑动设置于真空罩本体底壁，温度检测器用于检测真空罩内部温度，真空罩本体和密封挡门均设有夹层液冷空腔，夹层液冷空腔导入冷却液以对真空罩冷却，抽气密封法兰设置有挡尘板，抽气密封法兰用于与外界的抽真空系统密封连接。

2.根据权利要求1所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述液冷载台组件包括机架、液冷载台、出液空心支撑管、升降驱动结构和旋转驱动件，机架固定安装于真空罩底部，升降驱动结构安装于机架并与出液空心支撑管驱动连接，出液空心支撑管的上端突伸至真空罩内部并与液冷载台固定连接，出液空心支撑管的下端与旋转驱动件固定连接，出液空心支撑管滑动设置于真空罩底座冷盘，液冷载台内部设有液冷空腔，出液空心支撑管与液冷空腔连通，液冷空腔内转动安装有旋转导液盘，旋转驱动件的输出端与旋转导液盘连接，液冷空腔导入冷却液，旋转导液盘用于搅动液冷空腔内部的冷却液。

3.根据权利要求2所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述弹性密封件为弹性环状体，弹性密封件套设于出液空心支撑管的外侧，弹性密封件的一端与真空罩底壁密封连接，弹性密封件的另一端与旋转驱动件密封连接；液冷载台上移时，弹性密封件处于压缩状态；液冷载台下移时，弹性密封件处于扩张状态。

4.根据权利要求3所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述旋转导液盘包括导液平板以及设置于导液平板的多个页片，多个页片沿导液平板的中心轴线呈环形阵列，导液平板转动安装于液冷空腔内，多个页片用于搅动液冷空腔内部的冷却液，导液平板设有导液中心孔和装配凸环体，装配凸环体与导液中心孔共轴设置。

5.根据权利要求4所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述液冷载台组件还包括进液空心管，进液空心管设置于出液空心支撑管内部，进液空心管的下端与旋转驱动件的输出端连接，进液空心管的上端突伸至液冷空腔内并与装配凸环体卡接，进液空心管与导液中心孔连通，旋转驱动件用于驱使进液空心管和旋转导液盘转动。

6.根据权利要求5所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述旋转驱动件设有入液腔和出液腔，入液腔与进液空心管连通，出液腔与出液空心支撑管连通，冷却液依次流经入液腔、进液空心管、导液中心孔、液冷空腔、出液空心支撑管和出液腔。

7.根据权利要求2所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述升降驱动结构包括固定安装于机架的升降驱动本体以及与升降驱动本体驱动连接的承载架，承载架的一端滑动设置于机架，承载架的另一端与旋转驱动件固定安装，升降驱动本体经由承载架驱使旋转驱动件、出液空心支撑管和液冷载台的升降，机架上安装有相互平行设置的多个第一导向杆，多个第一导向杆分别穿过承载架，承载架沿着第一导向杆移动。

8.根据权利要求2所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述液冷载台包括液冷载台本体以及安装于液冷载台本体的承载上盖，承载上盖与液冷载台本体之间设有密封圈，刀具承载于承载上盖。

9.根据权利要求1所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述真空罩底座冷盘包括密封安装于真空罩底部的冷盘本体以及设置于冷盘本体内部的冷盘空腔，冷盘空腔导入流动的冷却液，以用于冷却冷盘本体，液冷载台组件穿过冷盘本体并滑动设置于冷盘本体。

10.根据权利要求9所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述冷盘本体固定安装有相互平行设置的多个第二导向杆，多个第二导向杆分别与液冷载台组件滑动连接。