[实用新型]一种真空装置的热源结构

权利要求书

1.一种真空装置的热源结构，包括真空罩，其特征在于：还包括设置于真空罩内的热源组件，所述热源组件包括热丝网件以及多个液冷电极棒，多个液冷电极棒均绝缘安装于真空罩底壁，热丝网件包括热丝网架以及均布于热丝网架的多个发热丝，热丝网架位于真空罩内部并承载于多个液冷电极棒上，液冷电极棒与热丝网架电性连接，热丝网架与多个发热丝电性连接，液冷电极棒用于对发热丝供电，液冷电极棒为中空结构，冷却液导入液冷电极棒内部以实现冷却。

2.根据权利要求1所述的一种真空装置的热源结构，其特征在于：所述热丝网架包括正极架杆和负极架杆，正极架杆的两端分别与两个液冷电极棒固定连接，负极架杆的两端分别与两个液冷电极棒固定连接，发热丝的一端固定于正极架杆，发热丝的另一端固定于正极架杆。

3.根据权利要求2所述的一种真空装置的热源结构，其特征在于：所述正极架杆套设有多个正极绕丝定位部件，负极架杆套设有多个负极绕丝定位部件，相邻的两个正极绕丝定位部件之间设有正极绕丝间隙，相邻的两个负极绕丝定位部件之间设有负极绕丝间隙，发热丝的一端固定并限位于正极绕丝间隙，发热丝的一端固定并限位于负极绕丝间隙。

4.根据权利要求1所述的一种真空装置的热源结构，其特征在于：所述液冷电极棒包括发热件固定部件、内芯管件以及设置于真空罩底壁的液冷电极棒本体，液冷电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，液冷电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于液冷电极棒本体的端部。

5.根据权利要求4所述的一种真空装置的热源结构，其特征在于：所述液冷电极棒还包括导电连接部件，导电连接部件包括套设安装于液冷电极棒本体外侧的第一连接部以及与第一连接部一体弯折设置的第二连接部，第二连接部设置有导电端子，导电端子用于接入电源电流。

6.根据权利要求4所述的一种真空装置的热源结构，其特征在于：所述发热件固定部件包括轴体以及与轴体一体设置的平板体，轴体包括分别设置于平板体两侧的上轴体和下轴体，上轴体螺纹连接有螺母件，螺母件与平板体之间设有卡装凹槽，液冷电极棒本体设有轴体固定槽，下轴体安装于轴体固定槽内，平板体与液冷电极棒本体的端面抵触，热丝网架限位安装于卡装凹槽内。

7.根据权利要求4所述的一种真空装置的热源结构，其特征在于：所述液冷电极棒还包括绝缘套件，液冷电极棒本体一体设有装配环体，绝缘套件套装于装配环体外侧。

8.根据权利要求7所述的一种真空装置的热源结构，其特征在于：所述液冷电极棒还包括均套设于液冷电极棒本体外侧的第一安装绝缘件和第二安装绝缘件，第一安装绝缘件与装配环体之间设有一密封圈，第一安装绝缘件和第二安装绝缘件分别设置于真空罩的内侧和外侧，第一安装绝缘件与真空罩底壁之间设有另一密封圈。