[实用新型]一种真空装置的热源结构

说明书

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种真空装置的热源结构，其包括真空罩以及热源组件，热源组件包括热丝网件以及多个液冷电极棒，热丝网件包括热丝网架以及均布于热丝网架的多个发热丝，热丝网架位于真空罩内部并承载于多个液冷电极棒上。需要镀层处理的多个刀具工件放置于热丝网架的下方，并调节刀具工件与发热丝之间的高度，以使得刀具工件处于最佳的反应温度，多个发热丝均布于热丝网架，使得发热均匀，避免刀柄出现黑化现象，大大提高良品率，液冷电极棒为中空结构，工作时，对液冷电极棒导入流动的冷却液，在接入电流的同时实现自身的冷却，避免液冷电极棒烧坏，大大延长使用寿命，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种真空装置的热源结构。

背景技术

热丝CVD(Hot Filament CVD，简称HFCVD)方法具有成本低、设备简单、工艺稳定、适用于复杂形状及大面积沉积的优点，是最适用于金刚石薄膜涂层刀具产业化生产的方法，目前国内外HFCVD金刚石薄膜涂层复杂形状钻头和铣刀正在产业化过程中；在采用HFCVD方法对钻头或铣刀的刀刃部分进行金刚石薄膜沉积时，沉积区域(刀刃区域，基体)的表面温度数值、温度场及反应基团密度场分布均匀性对薄膜质量及均匀性有着很大的影响。用于沉积HFCVD金刚石薄膜的适宜的基体温度区间约为500-1000℃，最适宜区间约为700-900℃。

涂层设备通常利用电极接入大电流，实现沉积加热，电极接入大电流后会处于超高温的状态，容易导致电极被烧坏，传统的涂层设备存在以下问题：

1、电极无法在接入大电流的同时实现冷却，电极容易被烧坏；

2、热源的发热不均匀，刀具工件杂质沉积导致刀柄出现黑化现象，良品率低。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种真空装置的热源结构，能够在接入电流的同时实现冷却，避免电极棒烧坏，还能够实现均匀发热，避免刀柄出现黑化现象，良品率高。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种真空装置的热源结构，其包括真空罩以及设置于真空罩内的热源组件，所述热源组件包括热丝网件以及多个液冷电极棒，多个液冷电极棒均绝缘安装于真空罩底壁，热丝网件包括热丝网架以及均布于热丝网架的多个发热丝，热丝网架位于真空罩内部并承载于多个液冷电极棒上，液冷电极棒与热丝网架电性连接，热丝网架与多个发热丝电性连接，液冷电极棒用于对发热丝供电，液冷电极棒为中空结构，冷却液导入液冷电极棒内部实现冷却。

进一步地，所述热丝网架包括正极架杆和负极架杆，正极架杆的两端分别与两个液冷电极棒固定连接，负极架杆的两端分别与两个液冷电极棒固定连接，发热丝的一端固定于正极架杆，发热丝的另一端固定于正极架杆。

进一步地，所述正极架杆套设有多个正极绕丝定位部件，负极架杆套设有多个负极绕丝定位部件，相邻的两个正极绕丝定位部件之间设有正极绕丝间隙，相邻的两个负极绕丝定位部件之间设有负极绕丝间隙，发热丝的一端固定并限位于正极绕丝间隙，发热丝的一端固定并限位于负极绕丝间隙。

进一步地，所述液冷电极棒包括发热件固定部件、内芯管件以及设置于真空罩底壁的液冷电极棒本体，液冷电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，液冷电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于液冷电极棒本体的端部。

进一步地，所述液冷电极棒还包括导电连接部件，导电连接部件包括套设安装于液冷电极棒本体外侧的第一连接部以及与第一连接部一体弯折设置的第二连接部，第二连接部设置有导电端子，导电端子用于接入电源电流。