[实用新型]一种涂层机的真空加热装置

权利要求书

1.一种涂层机的真空加热装置，包括真空罩，其特征在于：还包括热源组件以及滑动安装于真空罩内的升降载料台，热源组件包括热丝网架、发热丝拉紧件、多个液冷电极棒以及均布于热丝网架的多个发热丝，多个液冷电极棒均设置于真空罩底壁，热丝网架位于真空罩内部并承载于多个液冷电极棒上，液冷电极棒与热丝网架电性连接，热丝网架与多个发热丝电性连接，液冷电极棒用于对发热丝供电，液冷电极棒为中空结构，冷却液导入液冷电极棒内部以实现冷却，发热丝拉紧件固定安装于热丝网架，发热丝拉紧件用于拉紧多个发热丝，升降载料台位于热丝网架下方并用于承载刀具，发热丝用于对工件加热。

2.根据权利要求1所述的一种涂层机的真空加热装置，其特征在于：所述液冷电极棒包括设置于真空罩内的液冷电极棒本体、发热件固定部件和内芯管件，液冷电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，液冷电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于液冷电极棒本体的端部。

3.根据权利要求2所述的一种涂层机的真空加热装置，其特征在于：所述发热件固定部件包括轴体以及与轴体一体设置的平板体，轴体包括分别设置于平板体两侧的上轴体和下轴体，上轴体螺纹连接有螺母件，螺母件与平板体之间设有卡装凹槽，液冷电极棒本体设有轴体固定槽，下轴体安装于轴体固定槽内，平板体与液冷电极棒本体的端面抵触，热丝网架限位安装于卡装凹槽内。

4.根据权利要求3所述的一种涂层机的真空加热装置，其特征在于：所述液冷电极棒还包括绝缘套件，液冷电极棒本体一体设有装配环体，绝缘套件套装于装配环体外侧；所述液冷电极棒还包括均套设于液冷电极棒本体外侧的第一安装绝缘件和第二安装绝缘件，第一安装绝缘件与装配环体之间设有一密封圈，第一安装绝缘件和第二安装绝缘件分别设置于真空罩的内侧和外侧，第一安装绝缘件与真空罩底壁之间设有另一密封圈。

5.根据权利要求1所述的一种涂层机的真空加热装置，其特征在于：所述热丝网架包括正极架杆和负极架杆，正极架杆的两端分别与两个液冷电极棒固定连接，负极架杆的两端分别与两个液冷电极棒固定连接，发热丝的一端固定于正极架杆，发热丝的另一端固定于正极架杆。

6.根据权利要求5所述的一种涂层机的真空加热装置，其特征在于：所述正极架杆套设有多个正极绕丝定位部件，负极架杆套设有多个负极绕丝定位部件，相邻的两个正极绕丝定位部件之间设有正极绕丝间隙，相邻的两个负极绕丝定位部件之间设有负极绕丝间隙，发热丝的一端固定并限位于正极绕丝间隙，发热丝的一端固定并限位于负极绕丝间隙。

7.根据权利要求1所述的一种涂层机的真空加热装置，其特征在于：所述发热丝拉紧件包括拉紧件架以及多个弹性部件，拉紧件架固定安装于热丝网架，多个弹性部件呈线性排列，多个弹性部件的一端分别固定于拉紧件架，多个弹性部件的另一端分别与多个发热丝连接。

8.根据权利要求1所述的一种涂层机的真空加热装置，其特征在于：所述真空罩包括真空罩本体、设置于真空罩本体的抽气密封法兰、设置于真空罩本体内部的温度检测器以及转动安装于真空罩本体的密封挡门，温度检测器用于检测真空罩内部温度，真空罩本体和密封挡门均设有夹层液冷空腔，夹层液冷空腔导入冷却液以对真空罩冷却，抽气密封法兰设置有挡尘板，抽气密封法兰用于与外界的抽真空系统密封连接。