[实用新型]一种涂层机的真空加热装置

说明书

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种涂层机的真空加热装置，其包括真空罩、热源组件以及升降载料台，热源组件包括热丝网架、发热丝拉紧件、多个液冷电极棒以及多个发热丝，热丝网架承载于多个液冷电极棒上，液冷电极棒用于对发热丝供电，冷却液导入液冷电极棒内部以实现冷却，发热丝拉紧件固定安装于热丝网架，发热丝拉紧件用于拉紧多个发热丝，升降载料台位于热丝网架下方并用于承载刀具，发热丝用于对工件加热。本实用新型能够在接入电流的同时实现冷却，避免电极棒烧坏，精确控制刀具与发热丝的受热距离，对多个发热丝进行拉紧而控制多个发热丝的张紧度保持一致，实现沉积温度均匀，有效避免刀柄出现黑化现象，提高良品率。

技术领域

本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种涂层机的真空加热装置。

背景技术

热丝CVD(Hot Filament CVD，简称HFCVD)方法具有成本低、设备简单、工艺稳定、适用于复杂形状及大面积沉积的优点，是最适用于金刚石薄膜涂层刀具产业化生产的方法，目前国内外HFCVD金刚石薄膜涂层复杂形状钻头和铣刀正在产业化过程中；在采用HFCVD方法对钻头或铣刀的刀刃部分进行金刚石薄膜沉积时，沉积区域(刀刃区域，基体)的表面温度数值、温度场及反应基团密度场分布均匀性对薄膜质量及均匀性有着很大的影响。用于沉积HFCVD金刚石薄膜的适宜的基体温度区间约为500-1000℃，最适宜区间约为700-900℃。

涂层设备通常利用电极接入大电流，实现沉积加热，传统的涂层设备至少存在以下问题：

1、电极接入大电流后处于超高温的状态，传统的电极无法在接入大电流的同时实现冷却，电极容易被烧坏；

2、刀具与发热丝之间的距离难以精确控制，导致刀具受热温度不够精确；

3、传统的涂层设备存在热源的发热丝排布不均匀，发热丝张紧度不一致，出现沉积温度不均匀的问题，刀具刀刃不同位置的沉积温度必然存在差异，受热不均的刀具杂质沉积，导致刀柄出现黑化现象，良品率低。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种涂层机的真空加热装置，能够在接入电流的同时实现冷却，避免电极棒烧坏，精确控制刀具与发热丝的受热距离，对多个发热丝进行拉紧而控制多个发热丝的张紧度保持一致，实现沉积温度均匀，有效避免刀柄出现黑化现象，提高良品率。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种涂层机的真空加热装置，其包括真空罩、热源组件以及滑动安装于真空罩内的升降载料台，热源组件包括热丝网架、发热丝拉紧件、多个液冷电极棒以及均布于热丝网架的多个发热丝，多个液冷电极棒均设置于真空罩底壁，热丝网架位于真空罩内部并承载于多个液冷电极棒上，液冷电极棒与热丝网架电性连接，热丝网架与多个发热丝电性连接，液冷电极棒用于对发热丝供电，液冷电极棒为中空结构，冷却液导入液冷电极棒内部以实现冷却，发热丝拉紧件固定安装于热丝网架，发热丝拉紧件用于拉紧多个发热丝，升降载料台位于热丝网架下方并用于承载刀具，发热丝用于对工件加热。

进一步地，所述液冷电极棒包括设置于真空罩内的液冷电极棒本体、发热件固定部件和内芯管件，液冷电极棒本体内部设有第一流液通道，内芯管件安装于第一流液通道内，内芯管件设有第二流液通道，第一流液通道与第二流液通道连通，冷却液依次流经第一流液通道和第二流液通道，液冷电极棒本体接入电源电流，发热件固定部件安装于液冷电极棒本体的端部。

进一步地，所述发热件固定部件包括轴体以及与轴体一体设置的平板体，轴体包括分别设置于平板体两侧的上轴体和下轴体，上轴体螺纹连接有螺母件，螺母件与平板体之间设有卡装凹槽，液冷电极棒本体设有轴体固定槽，下轴体安装于轴体固定槽内，平板体与液冷电极棒本体的端面抵触，热丝网架限位安装于卡装凹槽内。