[实用新型]一种锁紧结构及光刻机

权利要求书

1.一种锁紧结构，其特征在于，所述锁紧结构包括机架、滚珠丝杠组件、承片台组件和电磁制动组件，所述滚珠丝杠组件和所述电磁制动组件均设置在所述机架上，所述承片台组件竖向滑动设置在所述机架上，所述电磁制动组件设置在所述滚珠丝杠组件的底部上；

所述滚珠丝杠组件包括丝杠本体和丝杠螺母，所述丝杠本体竖向转动设置在所述机架上，所述丝杠螺母转动套设在所述丝杠本体上；

所述承片台组件包括承片台，所述承片台处于预压状态时，受到外压力的作用能带动所述丝杠螺母在所述丝杠本体上逆向转动，以使所述丝杠螺母向下移动；

所述电磁制动组件内在所述丝杠本体的轴向上具有目标制动间隙；所述电磁制动组件能在所述目标制动间隙变为零时制止所述丝杠本体旋转以锁紧向下移动中的所述承片台，所述电磁制动组件能在所述目标制动间隙不为零时解除与所述丝杠本体的相互作用以使所述承片台自动处于预压状态。

2.根据权利要求1所述的一种锁紧结构，其特征在于：所述电磁制动组件包括固定吸盘、活动吸盘、线圈和拉力弹簧，所述拉力弹簧的一端与所述机架固定，并且所述拉力弹簧的另一端与所述活动吸盘固定，所述线圈套设在所述活动吸盘外侧；所述固定吸盘固定在所述丝杠本体的前端，并且所述固定吸盘的位置与所述活动吸盘的位置相对应。

3.根据权利要求2所述的一种锁紧结构，其特征在于：所述机架包括机架本体和双导轨，所述双导轨固定在所述机架本体上，并且所述双导轨的方向与所述丝杠本体的轴向方向相适应，所述承片台组件与所述双导轨滑动配合。

4.根据权利要求3所述的一种锁紧结构，其特征在于：所述机架还包括预压弹簧，所述预压弹簧的一端固定在所述机架本体上，所述预压弹簧的另一端与所述承片台组件连接，并且所述预压弹簧的活动方向与所述双导轨相适应。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种锁紧结构，其特征在于：所述承片台组件还包承片台支架和挡板，所述支架还包括调平极限开关；

所述承片台和所述挡板设置在所述承片台支架上，所述承片台支架与所述丝杠螺母固定，并且所述承片台支架与所述机架滑动配合；

所述挡板在所述承片台支架的带动下，在控制路径上往复运动，所述控制路径上设置有调平位；

所述调平极限开关设置在支架本体上，并且当所述挡板转运到所述调平位上时，所述挡板与所述调平极限开关相对。

6.根据权利要求5所述的一种锁紧结构，其特征在于：所述机架上还设置有极限光电开关，所述控制路径上还设置有极限位，当所述挡板转运到所述极限位上时，所述挡板与所述极限光电开关相对。

7.根据权利要求6所述的一种锁紧结构，其特征在于：所述滚珠丝杠组件还包括丝杠固定块，所述机架还包括丝杠固定基板，所述丝杠固定基板在位置上与所述电磁制动组件相对，并且所述丝杠固定基板的底部与所述机架本体连接；所述丝杠固定块固定在所述丝杠固定基板的顶部，所述丝杠本体的后端通过所述丝杠固定块与所述丝杠固定基板连接。

8.根据权利要求7所述的一种锁紧结构，其特征在于：所述承片台组件还包括螺母座，所述螺母座与所述承片台固定，所述螺母座上开设有与丝杠螺母尺寸相适应的凹位，并且所述螺母座通过所述凹位与所述丝杠螺母紧密配合。

9.根据权利要求8所述的一种锁紧结构，其特征在于：所述机架上还设置有机械极限组件，所述机械极限组件包括滑杆、限位块和滑块，所述滑杆的一端固定在所述机架上，并且所述滑杆的另一端设置有所述限位块，所述滑块与所述承片台组件固定，并且所述滑块在所述限位块和所述机架的限位下，与所述滑杆滑动配合。

10.一种光刻机，其特征在于：包括权利要求1至9任意一项所述的一种锁紧结构。