[实用新型]一种锁紧结构及光刻机

说明书

本申请实施例属于激光雕刻领域，涉及一种锁紧结构及光刻机。包括机架、承片台组件、滚珠丝杠组件和电磁制动组件，所述承片台组件滑动设置在机架上，所述滚珠丝杠组件和电磁制动组件均固定在机架上，并且所述滚珠丝杠组件和电磁制动组件通过制动间隙相配合；本申请还涉及一种光刻机。本申请提供的技术方案能够通过电磁制动组件消除制动间隙与丝杠本体的端部的前端紧密配合，停止丝杠本体的转动，以锁定丝杠螺母在丝杠轴向上的运动，从而锁定承片台组件，因为丝杠螺母与丝杠本体之间通过滚珠相配合，所以震动范围非常小，保证了承片台组件在静止状态下震动幅度小，且在曝光工艺的可接受范围之内，该方案对承片台的锁紧效果好。

技术领域

本申请涉及激光雕刻技术领域，更具体地，涉及一种锁紧结构及光刻机。

背景技术

通过接近式光刻机加工产品时，需要调整承片台和掩模板之间的相对距离，以形成曝光间隙，当曝光间隙调整完毕之后，需要锁死承片台和掩模板的位置，将曝光间隙固定，传统上这项工作通过电磁阀控制钳制器夹持导轨进行锁紧，但是钳制器夹持导轨产生的摩檫力小，导致钳制器会沿纵向导轨方向移动，进而导致曝光间隙存在较大的跳动误差，如此产品的合格率低，加工效率低，难以满足产能需求。

实用新型内容

本申请实施例所要解决的技术问题是在曝光过程当中，接近式光刻机承片台和掩模板之间的相对距离变化，保持曝光间隙大小不稳定。

为了解决上述技术问题，本申请实施例提供一种锁紧结构，采用了如下所述的技术方案：

一种锁紧结构，所述锁紧结构包括机架、滚珠丝杠组件、承片台组件和电磁制动组件，所述滚珠丝杠组件和所述电磁制动组件均设置在所述机架上，所述承片台组件竖向滑动设置在所述机架上，所述电磁制动组件设置在所述滚珠丝杠组件的底部上；

所述滚珠丝杠组件包括丝杠本体和丝杠螺母，所述丝杠本体竖向转动设置在所述机架上，所述丝杠螺母转动套设在所述丝杠本体上；

所述承片台组件包括承片台，所述承片台处于预压状态时，受到外压力的作用能带动所述丝杠螺母在所述丝杠本体上逆向转动，以使所述丝杠螺母向下移动；

所述电磁制动组件内在所述丝杠本体的轴向上具有目标制动间隙；所述电磁制动组件能在所述目标制动间隙变为零时制止所述丝杠本体旋转以锁紧向下移动中的所述承片台，所述电磁制动组件能在所述目标制动间隙不为零时解除与所述丝杠本体的相互作用以使所述承片台自动处于预压状态。

进一步的，所述电磁制动组件包括固定吸盘、活动吸盘、线圈和拉力弹簧，所述拉力弹簧的一端与所述机架固定，并且所述拉力弹簧的另一端与所述活动吸盘固定，所述线圈套设在所述活动吸盘外侧；所述固定吸盘固定在所述丝杠本体的前端，并且所述固定吸盘的位置与所述活动吸盘的位置相对应。

进一步的，所述机架包括机架本体和双导轨，所述双导轨固定在所述机架本体上，并且所述双导轨的方向与所述丝杠本体的轴向方向相适应，所述承片台组件与所述双导轨滑动配合。

进一步的，所述机架还包括预压弹簧，所述预压弹簧的一端固定在所述机架本体上，所述预压弹簧的另一端与所述承片台组件连接，并且所述预压弹簧的活动方向与所述双导轨相适应。

进一步的，所述承片台组件还包承片台支架和挡板，所述支架还包括调平极限开关；

所述承片台和所述挡板设置在所述承片台支架上，所述承片台支架与所述丝杠螺母固定，并且所述承片台支架与所述机架滑动配合；

所述挡板在所述承片台支架的带动下，在控制路径上往复运动，所述控制路径上设置有调平位；

所述调平极限开关设置在支架本体上，并且当所述挡板转运到所述调平位上时，所述挡板与所述调平极限开关相对。