[实用新型]一种新型半导体芯片研磨装置有效
申请号: | 202021890787.0 | 申请日: | 2020-09-02 |
公开(公告)号: | CN213498498U | 公开(公告)日: | 2021-06-22 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 无锡嘉翌晗机电科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/08 | 分类号: | B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34;B24B47/00;F16F15/067 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 崔巍 |
地址: | 214028 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 半导体 芯片 研磨 装置 | ||
本实用新型涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种新型半导体芯片研磨装置,包括机架,机架内侧顶端固定连接有液压伸缩轴,且液压伸缩轴下端固定连接有连接板,连接板上端左右两侧均贯穿有导向杆,且连接板下端左右两侧均固定连接有缓冲弹簧,连接板下端中部固定连接有转动电机,且转动电机下端转动连接有磨轮,机架内侧左右两端的上部均固定连接有支板,且机架内侧左右两端的下部均转动连接有阻尼转轴;通过伸缩气缸的伸缩,且结合夹板便于夹紧多种长度及厚度的半导体芯片,保证了夹紧的适用范围,且通过凹形架的上下翻转,无需再次拆卸安装半导体芯片,利于快速对半导体芯片的正面及反面进行打磨,保证了打磨工作的便捷性。
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域,特别是涉及一种新型半导体芯片研磨装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。
现目前的半导体芯片研磨装置,半导体芯片在打磨时,需要进行夹紧,但是夹紧结构难以夹紧多种长度及厚度的半导体芯片,因此会影响夹紧的适用范围,且半导体芯片在进行上下面打磨时,每次都需要再次拆卸和安装,导致打磨工作较为麻烦,影响打磨便捷性。
实用新型内容
本实用新型提供了一种新型半导体芯片研磨装置,以解决上述背景技术提出的夹紧的适用范围有限,且半导体芯片上下面打磨时较为麻烦的问题。
为了解决现有技术问题,本实用新型公开了一种新型半导体芯片研磨装置,包括机架:
所述机架内侧顶端固定连接有液压伸缩轴,且所述液压伸缩轴下端固定连接有连接板,所述连接板上端左右两侧均贯穿有导向杆,且所述连接板下端左右两侧均固定连接有缓冲弹簧,所述连接板下端中部固定连接有转动电机,且所述转动电机下端转动连接有磨轮,所述机架内侧左右两端的上部均固定连接有支板,且所述机架内侧左右两端的下部均转动连接有阻尼转轴,所述阻尼转轴首端贯穿出所述机架外侧,且所述阻尼转轴首端固定连接有操作轮,所述阻尼转轴末端均固定连接有伸缩气缸,且所述伸缩气缸末端固定连接有凹形架,所述凹形架内侧上下端均滑动连接有夹板,且所述凹形架内侧均设有双向螺纹杆,所述双向螺纹杆与所述夹板螺纹连接,且所述双向螺纹杆上下端均与凹形架转动连接,所述双向螺纹杆下端贯穿出所述凹形架,且所述机架内侧底端固定连接有吸尘风机。
进一步的,右端所述阻尼转轴上端固定连接有固定板,且所述固定板中部贯穿有限位杆,所述限位杆与所述固定板滑动连接。
进一步的,所述限位杆左端固定连接有拉块,且所述拉块右端固定连接有复位弹簧,所述限位杆穿插过所述复位弹簧的内围,且所述复位弹簧右端与所述固定板固定连接。
进一步的,所述机架内侧右端且位于所述阻尼转轴上下端均开有限位槽,且所述限位杆右端转动连接有滚珠,所述限位杆右端插接于所述限位槽内。
进一步的,所述磨轮位于两个所述凹形架的内侧上端,且所述导向杆下端与所述支板固定连接,所述导向杆下端贯穿过所述缓冲弹簧的内围,且所述缓冲弹簧下端与所述支板固定连接。
与现有技术相比,本实用新型实现的有益效果:
通过伸缩气缸的伸缩,且结合夹板便于夹紧多种长度及厚度的半导体芯片,保证了夹紧的适用范围,再结合缓冲弹簧的缓冲性能,保证了打磨时的稳定性,且通过凹形架的上下翻转,无需再次拆卸安装半导体芯片,利于快速对半导体芯片的正面及反面进行打磨,保证了打磨工作的便捷性。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型的A局部放大结构示意图;
图3为本实用新型的整体工作结构示意图。
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