[实用新型]高硬度低摩擦系数的保护镀膜有效
| 申请号： | 202021893942.4 | 申请日： | 2020-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN212834028U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 吴宗丰;蔡宇砚;李文亮;游辉桓;周冠廷 | 申请（专利权）人： | 翔名科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 黄以琳;张忠波 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬度 摩擦系数 保护 镀膜 | ||
1.一种高硬度低摩擦系数的保护镀膜，用以镀覆于一基材之上，该高硬度低摩擦系数保护镀膜，其特征在于，包括：
一缓冲层，形成于该基材之上；及
一覆层，形成于该缓冲层之上，且该覆层为一介电层。
2.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，还包括一接口层，该接口层形成于该基材层及该缓冲层之间。
3.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该覆层的层数至少为一。
4.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该覆层厚度介于500nm至3μm之间。
5.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该覆层维氏硬度大于560HV。
6.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该覆层的表面之摩擦系数小于0.07。
7.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该覆层包含多个子层，且在这些子层中其硬度是从上到下递减。
8.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该覆层的厚度介于500nm至3μm，该覆层至少可承受6Gpa之压力且具有100nm以下之表面粗糙度，且该覆层具有至少600HV之硬度。
9.如权利要求7所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该缓冲层的厚度介于10nm至100nm之间。
10.如权利要求7所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该保护镀膜的表面粗糙度至少小于500nm。
11.如权利要求1所述的高硬度低摩擦系数的保护镀膜，其特征在于，该保护镀膜能承受于室温下以金刚石探头施加0.4N之力。
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