[实用新型]一种全新的离子源定位系统

权利要求书

1.一种全新的离子源定位系统，包括基片腔室（1）和离子源腔室（2），基片腔室（1）和离子源腔室（2）为可拆卸结构，其特征在于：所述离子源腔室（2）底部设有移动定位机构（4），所述移动定位机构（4）包括移动部和固定部，所述移动部与所述离子源腔室（2）连接并且能够在所述固定部上通过滑动的方式做直线运动，从而实现所述基片腔室（1）和所述离子源腔室（2）的拆卸分离和定位连接。

2.根据权利要求1所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述移动定位机构（4）中的移动部和固定部分别为滑块（42）和导轨（43）；所述导轨（43）一端设有起始块（44），所述滑块（42）触碰所述起始块（44）时表明所述离子源腔室（2）移动至安装位置。

3.根据权利要求2所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述导轨（43）另一端设有终止块（45），所述滑块（42）触碰到所述终止块（45）时表明所述离子源腔室（2）移动至更换靶材（24）的位置。

4.根据权利要求3所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述导轨（43）安装在底座（47）上，所述底座（47）两端分别安装一端盖板（46）。

5.根据权利要求4所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述滑块（42）与所述离子源腔室（2）之间通过气缸（41）连接，所述气缸（41）能够抬升或降低所述离子源腔室（2）的垂直高度。

6.根据权利要求5所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述滑块（42）与水平气缸的气缸杆连接，水平气缸驱动所述滑块（42）沿着所述导轨（43）水平移动。

7.根据权利要求5所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述滑块（42）设有螺纹孔，所述螺纹孔与螺杆配合，电机驱动所述螺杆旋转从而使得所述滑块（42）水平移动。

8.根据权利要求5所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述基片腔室（1）设有基片腔室法兰（12），所述离子源腔室（2）设有离子源腔室法兰（22），两个分离通过密封圈（3）进行密封连接。

9.根据权利要求8所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述基片腔室（1）内设有基片（11）。

10.根据权利要求9所述的全新的离子源定位系统，其特征在于：所述离子源腔室（2）内设有离子发生器和靶材（24），所述靶材（24）安装在靶材承载块（21）上。