[实用新型]一种全新的离子源定位系统

说明书

本实用新型涉及一种全新的离子源定位系统，包括基片腔室（1）和离子源腔室（2），基片腔室（1）和离子源腔室（2）为可拆卸结构，其特征在于：所述离子源腔室（2）底部设有移动定位机构（4），所述移动定位机构（4）包括移动部和固定部，所述移动部与所述离子源腔室（2）连接并且能够在所述固定部上通过滑动的方式做直线运动，从而实现所述基片腔室（1）和所述离子源腔室（2）的拆卸分离和定位连接。本实用新型通过滑块结构对离子源腔室进行定位的，确保离子源腔室水平移动和定位精准。

技术领域

本实用新型涉及一种全新的离子源定位系统。

背景技术

现有技术采用的是万向球形滚轮的形式来移动装有靶材的装置，由于更换靶材的时候需要准确定位，使用万向球形滚轮对于定位准确有较高的难度，并且万向球形滚轮对于地面的平整度有较高的要求，此外万向球形滚轮较为不可控对于离子源准确定位有较大的难度，且万向球形滚轮对地面的压力较大。

因此，市场需要一种能平稳移动，而且能准确定位，有较好的水平度保持度，并且轻松方便和安全的定位系统。

如图1-图3所示，在离子源腔室2下方通过万向球形滚轮23实现其自身的移动定位，由于万向球形滚轮23移动和定位存在缺陷，导致离子源腔室2与基片腔室1进行定位有较大的难度。

实用新型内容

本实用新型设计了一种全新的离子源定位系统，其解决的技术问题是现有技术中采用万向球形滚轮的形式来移动装有靶材，存在定位难度大，地面平整度要求高以及对万向球形滚轮质量要求高等缺陷。

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型采用了以下方案：

一种全新的离子源定位系统，包括基片腔室（1）和离子源腔室（2），基片腔室（1）和离子源腔室（2）为可拆卸结构，其特征在于：所述离子源腔室（2）底部设有移动定位机构（4），所述移动定位机构（4）包括移动部和固定部，所述移动部与所述离子源腔室（2）连接并且能够在所述固定部上通过滑动的方式做直线运动，从而实现所述基片腔室（1）和所述离子源腔室（2）的拆卸分离和定位连接。

优选地，所述移动定位机构（4）中的移动部和固定部分别为滑块（42）和导轨（43）；所述导轨（43）一端设有起始块（44），所述滑块（42）触碰所述起始块（44）时表明所述离子源腔室（2）移动至安装位置。

优选地，所述导轨（43）另一端设有终止块（45），所述滑块（42）触碰到所述终止块（45）时表明所述离子源腔室（2）移动至更换靶材（24）的位置。

优选地，所述导轨（43）安装在底座（47）上，所述底座（47）两端分别安装一端盖板（46）。

优选地，所述滑块（42）与所述离子源腔室（2）之间通过气缸（41）连接，所述气缸（41）能够抬升或降低所述离子源腔室（2）的垂直高度。

优选地，所述滑块（42）与水平气缸的气缸杆连接，水平气缸驱动所述滑块（42）沿着所述导轨（43）水平移动。

优选地，所述滑块（42）设有螺纹孔，所述螺纹孔与螺杆配合，电机驱动所述螺杆旋转从而使得所述滑块（42）水平移动。

优选地，所述基片腔室（1）设有基片腔室法兰（12），所述离子源腔室（2）设有离子源腔室法兰（22），两个分离通过密封圈（3）进行密封连接。

优选地，所述基片腔室（1）内设有基片（11）。

优选地，所述离子源腔室（2）内设有离子发生器和靶材（24），所述靶材（24）安装在靶材承载块（21）上。

该全新的离子源定位系统具有以下有益效果：

（1）本实用新型通过滑块结构对离子源腔室进行定位的，确保离子源腔室水平移动和定位精准。