[实用新型]溅镀靶材

说明书

一种溅镀靶材，包含靶坯、背板单元、数个磁性件及数个固定件。所述背板单元包括与所述靶坯间隔设置的背板及接合层，所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面及反向于所述第一板面的第二板面。所述接合层设置于所述第一板面。所述磁性件设置于所述靶坯的底面与所述背板的第一板面间。所述固定件分别对应于所述磁性件，所述固定件具有导电、导热及耐高温的性质且接合于所述靶坯的底面或所述背板的第一板面，每一所述固定件的熔点高于所述接合层的熔点，所述接合层一体地填充于所述靶坯与所述背板间。本实用新型不需开槽，且结构及工序较为简单，调整磁力线的方式也较为便利。

技术领域

本实用新型涉及一种溅镀靶材，特别是涉及一种便于调整磁力线的溅镀靶材。

背景技术

参阅图1，一种现有的溅镀靶材装置安装在一溅镀机1，所述溅镀机1具有数个永久磁石MS，所述溅镀靶材装置包括一邻近于所述永久磁石MS的基板11、至少一磁性件12及一靶材13。所述基板11的顶面开设有至少一容置槽111，所述磁性件12通过一固定件14嵌固在所述容置槽111，所述靶材13的底面朝向所述基板11且覆盖于所述基板11的顶面并固定于所述基板11。通过多个所述磁性件12的磁性可改变所述永久磁石MS作用在所述靶材13的磁力线，进而使所述靶材13能均匀地消耗。

虽然前述的溅镀靶材装置具有上述的使用特性，但由于所述磁性件12是嵌置在所述基板11的容置槽111内，所述磁性件12的设置位置受到所述容置槽111的限制，无法随意设置在所需要的位置，因此，要调整磁力线较为不便。

参阅图2与图3，另一种现有的溅镀靶材装置则是先在一基板15上涂布一第一软质黏胶层16，再将数个磁性件17暂放在所述基板15的预定位置，每一所述磁性件17具有位于两相反侧的两个翼部171，通过所述第一软质黏胶层16使所述磁性件17获得暂定位。接着，在所述磁性件17及所述第一软质黏胶层16上涂布一第二软质黏胶层18。再将一靶材19迭置在所述第二软质黏胶层18，在此过程中，所述磁性件17可能产生位移，通过操作所述翼部171可再调整所述磁性件17相对于所述靶材19的位置。最后，加热固化所述第一软质黏胶层16与所述第二软质黏胶层18，并裁断所述磁性件17的翼部171而形成所述溅镀靶材装置。虽然此种的溅镀靶材装置能够将所述磁性件17设置在所述靶材19的任意位置，但由于所述磁性件17要先形成所述翼部171，之后还要裁断所述磁性件17的翼部171，结构及工序都较为复杂，且在裁断所述磁性件17的翼部171后仍会有部分的残留，将会影响磁力线的分布。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单且便于调整磁力线的溅镀靶材。

本实用新型所述的溅镀靶材，包含靶坯、背板单元、数个磁性件及数个固定件。所述靶坯包括靶面及反向于所述靶面的底面。

所述背板单元包括与所述靶坯间隔设置的背板及接合层，所述背板具有朝向所述靶坯的底面的第一板面、反向于所述第一板面的第二板面，及位于内部且用来降温的水道，所述接合层设置于所述第一板面。所述磁性件设置于所述靶坯的底面与所述背板的第一板面间。所述固定件分别对应于所述磁性件且设置于所述磁性件，所述固定件具有导电导热及耐高温的性质且接合于所述靶坯的底面或所述背板的第一板面，每一所述固定件的熔点高于所述接合层的熔点，所述接合层一体地填充于所述靶坯与所述背板间，借此，将所述磁性件固定于所述靶坯与所述背板单元间。

本实用新型所述的溅镀靶材，所述接合层是铟、锡锌、锡银的其中一者。

本实用新型所述的溅镀靶材，每一所述固定件是一种加热固化型的焊料。

本实用新型所述的溅镀靶材，每一所述固定件是一种常温固化型的焊料。