[实用新型]标准式离子镀膜系统

说明书

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体而言，涉及一种标准式离子镀膜系统。标准式离子镀膜系统包括主体模块和电源模块；主体模块包括主体框架、电控柜、镀膜室以及抽真空泵组，电控柜连接主体框架并形成主体骨架，主体骨架内部形成容置空间，镀膜室和抽真空泵组位于容置空间内；抽真空泵组和镀膜室分别与电源模块电连接。在安装过程中，由于电控柜、镀膜室以及抽真空泵组等主要功能模块集成于主体模块，在运输过程中无需对各个功能模块进行拆分，即保持了各个功能模块之间的连接，待运输至安装现场时，只需将电源模块与各个功能模块进行连接即可，节省了人力和时间，降低了离子镀膜系统对运输装置、安装场地以及安装人员的要求。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体而言，涉及一种标准式离子镀膜系统。

背景技术

离子镀膜系统包括真空炉、抽真空泵组以及适配的以使系统工作的电气组件等，但由于目前不同场地对离子镀膜系统的安装等要求不同，因此目前对于离子镀膜系统的生产还停留在定制模式，即根据场地的安装要求定制真空炉、抽真空泵组以及适配的以使系统工作的电气组件等。

然而，定制的离子镀膜系统存在各结构或模块的尺寸不统一，导致在生产过程中难以标准化，且运输要求和安装要求不同，可能存在运输困难、安装耗时耗力的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种标准式离子镀膜系统，以在一定程度上降低离子镀膜系统的运输要求和安装要求。

本申请提供的一种标准式离子镀膜系统，包括主体模块和电源模块；

所述主体模块包括主体框架、电控柜、镀膜室以及抽真空泵组，所述电控柜连接所述主体框架并形成主体骨架，所述主体骨架内部形成容置空间，所述镀膜室和所述抽真空泵组位于所述容置空间内；

所述抽真空泵组和所述镀膜室分别与所述电源模块电连接。

在上述技术方案中，优选地，所述主体骨架呈长方体状，且所述主体骨架的长度不大于10m、宽度不大于2.3m、高度不大于2.7m。

在上述任一技术方案中，优选地，所述主体骨架内形成有走线槽。

在上述任一技术方案中，优选地，所述主体模块还包括门体，所述门体转动连接于所述主体框架的一端。

在上述任一技术方案中，优选地，所述主体模块还包括控制屏，所述控制屏转动连接于所述主体骨架的侧部，以使所述控制屏能够相对所述主体骨架展开或与所述主体框架相贴合。

在上述任一技术方案中，优选地，所述主体模块和所述电源模块为分体式结构。

在上述任一技术方案中，优选地，所述抽真空泵组包括粗抽泵组和精抽泵组，所述粗抽泵组和所述精抽泵组分别与所述镀膜室相连通。

在上述任一技术方案中，优选地，所述镀膜室、所述粗抽泵组和所述精抽泵组沿所述容置空间的长度方向顺次排布。

在上述任一技术方案中，优选地，所述电控柜的数量为多个，多个所述电控柜分布于所述主体框架的宽度方向的两侧。

在上述任一技术方案中，优选地，所述电源模块包括多个电源柜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：