[实用新型]一种芯片制造氧化设备的导流板

权利要求书

1.一种芯片制造氧化设备的导流板，包括底板(1)和顶板(11)，其特征在于：所述底板(1)上固定有四个立筒(13)，所述立筒(13)内均滑动套接有滑动柱(51)，所述滑动柱(51)固定连接有支撑板(5)、且固定在支撑板(5)的底部，所述底板(1)的中心位置处固定有液压缸(14)，所述液压缸(14)的输出轴固定在支撑板(5)的底部，所述支撑板(5)上方安装有端部安装组件(3)和侧边安装组件(4)，所述端部安装组件(3)和侧边安装组件(4)组合固定有导流板(2)，所述顶板(11)底部通过连接架悬挂有芯片(12)，所述芯片(12)位于导流板(2)的上方。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造氧化设备的导流板，其特征在于：所述端部安装组件(3)包括两个U型柱(31)，所述两个U型柱(31)底部分别固定有支撑柱a(32)和支撑柱b(321)，所述支撑柱a(32)固定在支撑板(5)上，所述支撑柱b(321)通过第二滑槽(52)滑动连在支撑板(5)上，所述支撑柱a(32)上固定连接有连杆(33)，所述连杆(33)转动套接有套筒(34)，所述套筒(34)的另一端开设有螺纹槽、且通过螺纹槽螺纹连接有第一丝杆(35)，所述第一丝杆(35)套接在支撑柱b(321)上、且套接处的竖直截面为菱形。

3.根据权利要求2所述的一种芯片制造氧化设备的导流板，其特征在于：所述侧边安装组件(4)包括固定在支撑板(5)侧边的固定板(47)，所述固定板(47)上螺纹连接有带有转动把手的第二丝杆(46)，所述第二丝杆(46)的底部固定连接有转动块(45)，所述转动块(45)转动套接有滑板(44)，所述滑板(44)上与转动块(45)对称的一侧固定连接有导棒(48)，所述导棒(48)上套接有弹簧(42)，所述导棒(48)的滑动套接有限位板(49)，所述弹簧(42)两端分别固定在滑板(44)和限位板(49)上，所述限位板(49)固定在支撑板(5)上；所述滑板(44)的底部固定有第二滑块(41)，所述第二滑块(41)滑动连接有开设在支撑板(5)底部的第一滑槽(43)。

4.根据权利要求3所述的一种芯片制造氧化设备的导流板，其特征在于：所述导流板(2)的两侧卡接在U型柱(31)内，所述滑板(44)位于U型柱(31)的两侧。

5.根据权利要求1所述的一种芯片制造氧化设备的导流板，其特征在于：所述导流板(2)上开设有气孔(21)，所述气孔(21)连通有中空层(22)，所述中空层(22)连通有进气管(23)。

6.根据权利要求1所述的一种芯片制造氧化设备的导流板，其特征在于：所述滑动柱(51)和立筒(13)截面为圆形柱体，且有截面为正四边形、正五边形、正六边形等多种正多边形的型号。