[实用新型]一种芯片制造氧化设备的导流板

说明书

本实用新型公开了一种芯片制造氧化设备的导流板，包括底板和顶板，所述底板上固定有四个立筒，所述立筒内均滑动套接有滑动柱，所述滑动柱固定连接有支撑板、且固定在支撑板的底部，所述底板的中心位置处固定有液压缸，所述液压缸的输出轴固定在支撑板的底部，所述支撑板上方安装有端部安装组件和侧边安装组件，所述端部安装组件和侧边安装组件组合固定有导流板，所述顶板底部通过连接架悬挂有芯片，所述芯片位于导流板的上方。本实用新型操作简单、便于更换导流板、有效的控制了气流流过导流板时的大小。

技术领域

本实用新型涉及芯片氧化工艺设备技术领域，具体为一种芯片制造氧化设备的导流板。

背景技术

在芯片的制造过程中，包含诸多工艺过程，其中芯片的氧化工艺也是非常重要的环节，主要完成超薄氮氧化硅薄膜生长、氧化硅薄膜生长等工艺的需求，在对不同的芯片进行氧化时所需要的导流板也不同，且对气流的要求也不一样。

目前市场上很多设备，其设备的导流板一般是固定安装在设备内，不便于更换，也有着因气流固定导致氧化不充分的缺点，而目前有的可以更换导流板的设备又有着固定不牢固，导流板易脱落的缺点，为此我们提出一种芯片制造氧化设备的导流板用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种芯片制造氧化设备的导流板，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片制造氧化设备的导流板，包括底板和顶板，所述底板上固定有四个立筒，所述立筒内均滑动套接有滑动柱，所述滑动柱固定连接有支撑板、且固定在支撑板的底部，所述底板的中心位置处固定有液压缸，所述液压缸的输出轴固定在支撑板的底部，所述支撑板上方安装有端部安装组件和侧边安装组件，所述端部安装组件和侧边安装组件组合固定有导流板，所述顶板底部通过连接架悬挂有芯片，所述芯片位于导流板的上方。

优选的，端部安装组件包括两个U型柱，所述两个U型柱底部分别固定有支撑柱a和支撑柱b，所述支撑柱a固定在支撑板上，所述支撑柱b通过第二滑槽滑动连在支撑板上，所述支撑柱a上固定连接有连杆，所述连杆转动套接有套筒，所述套筒的另一端开设有螺纹槽、且通过螺纹槽螺纹连接有第一丝杆，所述第一丝杆套接在支撑柱b上、且套接处的竖直截面为菱形。

优选的，侧边安装组件包括固定在支撑板侧边的固定板，所述固定板上螺纹连接有带有转动把手的第二丝杆，所述第二丝杆的底部固定连接有转动块，所述转动块转动套接有滑板，所述滑板上与转动块对称的一侧固定连接有导棒，所述导棒上套接有弹簧，所述导棒的滑动套接有限位板，所述弹簧两端分别固定在滑板和限位板上，所述限位板固定在支撑板上；所述滑板的底部固定有第二滑块，所述第二滑块滑动连接有开设在支撑板底部的第一滑槽。

优选的，所述导流板的两侧卡接在U型柱内，所述滑板位于U型柱的两侧。

优选的，导流板上开设有气孔，所述气孔连通有中空层，所述中空层连通有进气管。

优选的，滑动柱和立筒截面为圆形柱体，且有截面为正四边形、正五边形、正六边形等多种正多边形的型号。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过端部安装组件将导流板的两端卡接住，通过侧边安装组件使得滑板卡接住U型柱的两侧，使得导流板得到有效的固定，防止了导流板在水平位置和竖直位置发生的偏移，操作简单，便于对导流板进行更换，同时也保证了导流板的固定；通过弹簧对滑板施加的弹力，有效的防止了滑板使用时间久后发生的晃动和偏移，有效的提高了该装置的使用寿命；通过液压缸对支撑板的升降来控制气流经过芯片时的大小，有效的调节了气流的大小，进而使得芯片的氧化更加充分，同时又不会因气流过大导致的氧化过度。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型中端部安装组件结构示意图；