[实用新型]研磨垫及研磨系统

权利要求书

1.一种研磨垫，其特征在于，具有彼此相对的研磨面及背面，具有研磨液连通区域，且包括：

多个穿孔，位于所述研磨液连通区域内，其中所述多个穿孔分别贯穿所述研磨面及所述背面；以及

至少一连接沟槽，配置于所述背面中且位于所述研磨液连通区域内，其中所述至少一连接沟槽连接所述多个穿孔，其中所述研磨液连通区域位于所述研磨垫的半径20％至50％之内的中央区域。

2.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述至少一连接沟槽的延伸方向为所述研磨垫的半径方向。

3.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述至少一连接沟槽的分布形状包括米字形、ㄚ字形、十字形或一字形。

4.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述至少一连接沟槽距离所述背面具有连接沟槽深度，所述连接沟槽深度相对于所述研磨垫的厚度为介于5％至50％之间。

5.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述多个穿孔包括内围穿孔及外围穿孔，其中所述内围穿孔的孔径小于所述外围穿孔的孔径。

6.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述多个穿孔包括中心穿孔，其中所述中心穿孔在所述多个穿孔中具有最小的孔径。

7.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述研磨垫的旋转轴心与所述研磨液连通区域的中心相重叠。

8.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，所述研磨垫的旋转轴心与所述多个穿孔中的一者相重叠。

9.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，还包括至少一研磨沟槽，配置于所述研磨面中。

10.根据权利要求9所述的研磨垫，其特征在于，所述多个穿孔连接所述至少一研磨沟槽。

11.根据权利要求9所述的研磨垫，其特征在于，所述至少一研磨沟槽距离所述研磨面具有研磨沟槽深度，所述研磨沟槽深度相对于所述研磨垫的厚度为介于10％至80％之间。

12.一种研磨垫，其特征在于，适用于研磨物件，所述研磨垫具有对应于所述物件的恒定轨迹区域及环绕所述恒定轨迹区域的循环轨迹区域，且包括：

彼此相对的研磨面及背面；

多个穿孔，分别贯穿所述研磨面及所述背面；以及

至少一连接沟槽，配置于所述背面中且连接所述多个穿孔，其中所述多个穿孔及所述至少一连接沟槽配置于所述恒定轨迹区域内。

13.根据权利要求12所述的研磨垫，其特征在于，所述循环轨迹区域的面积大于所述恒定轨迹区域的面积。

14.根据权利要求12所述的研磨垫，其特征在于，所述恒定轨迹区域位于所述研磨垫的半径20％至50％之内的中央区域。

15.根据权利要求12所述的研磨垫，其特征在于，所述至少一连接沟槽的延伸方向为所述研磨垫的半径方向。

16.根据权利要求12所述的研磨垫，其特征在于，所述至少一连接沟槽的分布形状包括米字形、ㄚ字形、十字形或一字形。

17.根据权利要求12所述的研磨垫，其特征在于，所述至少一连接沟槽距离所述背面具有连接沟槽深度，所述连接沟槽深度相对于所述研磨垫的厚度为介于5％至50％之间。

18.根据权利要求12所述的研磨垫，其特征在于，所述多个穿孔包括内围穿孔及外围穿孔，其中所述内围穿孔的孔径小于所述外围穿孔的孔径。