[实用新型]进样装置

权利要求书

1.一种进样装置，其特征在于，包括：

第一进样单元，包括第一存储腔室及第一进样部件，所述第一存储腔室具有进样口；以及，

第二进样单元，包括第二存储腔室、第二进样部件及第一驱动器，所述第二存储腔室与所述第一存储腔室通过开关部件连通，所述第二进样部件与所述第二存储腔室密合，所述第一驱动器用于驱动所述第二进样部件移动。

2.如权利要求1所述的进样装置，其特征在于，所述第一存储腔室及所述第二存储腔室均与一真空组件连接，且所述第一存储腔室的气压高于所述第二存储腔室的气压。

3.如权利要求2所述的进样装置，其特征在于，所述第一存储腔室与所述第二存储腔室通过进样通道连通，所述真空组件与所述第一存储腔室之间通过管道连接，所述进样口上设有第一开关部件，所述真空组件与所述第一存储腔室之间的管道上设有第二开关部件，所述进样通道上设有第三开关部件。

4.如权利要求3所述的进样装置，其特征在于，所述第一开关部件、第二开关部件及所述第三开关部件均为阀门。

5.如权利要求2或所述的进样装置，其特征在于，所述真空组件包括若干分子涡轮泵及一个初级泵，所述第一存储腔室与所述初级泵连接，所述第二存储腔室与所述分子涡轮泵连接后再与所述初级泵连接。

6.如权利要求2所述的进样装置，其特征在于，所述真空组件包括分子涡轮泵及两个初级泵，所述第一存储腔室与一个所述初级泵连接，所述第二存储腔室与所述分子涡轮泵连接后再与另一个所述初级泵连接。

7.如权利要求2-6中任一项所述的进样装置，其特征在于，所述第一存储腔室的气压为10^-4mbar～10^-5mbar，和/或所述第二存储腔室的气压为10^-7mbar～10^-8mbar。

8.如权利要求1所述的进样装置，其特征在于，所述第一存储腔室及所述第二存储腔室均包括承载台及第三驱动器，所述承载台上具有至少两个存储样品的工位，所述工位沿所述承载台的周向分布，所述第三驱动器用于驱动所述承载台旋转。

9.如权利要求8所述的进样装置，其特征在于，所述第二进样部件为杆状结构，所述第一存储腔室的承载台的中心与所述第二存储腔室的承载台的中心的虚拟连线与所述第二进样部件的轴线重合。

10.如权利要求8或9所述的进样装置，其特征在于，所述承载台上还具有一样品移动区域，所述样品移动区域沿所述第二存储腔室的承载台的径向延伸，所述工位均位于所述样品移动区域外。