[实用新型]进样装置

说明书

本实用新型提供了一种进样装置，将第二进样部件与第二存储腔室密合，利用第一驱动器及第二进样部件移动，第二进样部件通过移动可从第一存储腔室中将样品自动转移至第二存储腔室中，避免了人工操作导致空气入侵第二存储腔室的风险，提高了第二存储腔室的气密性，降低了第二存储腔室漏气时破坏与之相连的设备中的昂贵零件的风险，进而提高了检测设备精度及寿命。

技术领域

本实用新型涉及表面检测技术领域，尤其涉及一种进样装置。

背景技术

二次离子质谱仪(secondary ion mass spectroscopy，SIMS)是一种非常灵敏的表面成份精密分析仪器，其灵敏度范围可达ppm至ppb量级。二次离子质谱仪采用高能量的离子束轰击样品表面，使样品表面的分子吸收能量而从表面发生溅射产生二次离子，通过收集、分析这些二次离子，就可以得到关于样品的表面特征的图谱。目前，二次离子质谱仪可应用于如金属、半导体、航空航天、微电子、环境及集成电路等领域中，尤其是在传统半导体工业、集成电路及太阳能光伏电池等的分析占有非常重要的作用。

现有的二次离子质谱仪包含离子源部分、分析腔室、样品仓、装样部分、离子收集部分、数据处理系统、真空系统及电力系统等。二次离子质谱仪的离子源部分、分析腔室、样品仓及离子收集部分对真空的要求都极高，但是目前二次离子质谱仪普遍使用的进样装置均是手动的，即人工操作进样部件将样品推到样品仓中，但是一旦用力方向出现偏差，就会导致空气入侵样品仓，可见，现有的进样装置无法保证气密性，导致二次离子质谱仪的精度及寿命降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种进样装置，以解决现有的进样装置的气密性不佳，精度及寿命难以保证的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种进样装置，包括：

第一进样单元，包括第一存储腔室及第一进样部件，所述第一存储腔室具有进样口；以及，

第二进样单元，包括第二存储腔室、第二进样部件及第一驱动器，所述第二存储腔室与所述第一存储腔室通过开关部件连通，所述第二进样部件与所述第二存储腔室密合，所述第一驱动器用于驱动所述第二进样部件移动。

可选的，所述第一存储腔室及所述第二存储腔室均与一真空组件连接，且所述第一存储腔室的气压高于所述第二存储腔室的气压。

可选的，所述第一存储腔室与所述第二存储腔室通过进样通道连通，所述真空组件与所述第一存储腔室之间通过管道连接，所述进样口上设有第一开关部件，所述真空组件与所述第一存储腔室之间的管道上设有第二开关部件，所述进样通道上设有第三开关部件。

可选的，所述第一开关部件、第二开关部件及所述第三开关部件均为阀门。

可选的，所述真空组件包括若干分子涡轮泵及一个初级泵，所述第一存储腔室与所述初级泵连接，所述第二存储腔室与所述分子涡轮泵连接后再与所述初级泵连接。

可选的，所述真空组件包括分子涡轮泵及两个初级泵，所述第一存储腔室与一个所述初级泵连接，所述第二存储腔室与所述分子涡轮泵连接后再与另一个所述初级泵连接。

可选的，所述第一存储腔室的气压为10^-4mbar～10^-5mbar，和/或所述第二存储腔室的气压为10^-7mbar～10^-8mbar。

可选的，所述第一存储腔室及所述第二存储腔室均包括承载台及第三驱动器，所述承载台上具有至少两个存储样品的工位，所述工位沿所述承载台的周向分布，所述第三驱动器用于驱动所述承载台旋转。

可选的，所述第二进样部件为杆状结构，所述第一存储腔室的承载台的中心与所述第二存储腔室的承载台的中心的虚拟连线与所述第二进样部件的轴线重合。