[实用新型]一种石墨坩埚盖板

权利要求书

1.一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，其特征在于，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。

2.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述石墨面板为方形盖板。

3.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述石墨面板与所述侧压块为同一块石墨材料一体成型制成。

4.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述侧压块采用碳碳纤维或石墨材料成型制备。

5.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，位置相邻的侧压块之间等间距设置，且位置相邻的侧压块在U型卡槽上靠石英坩埚侧通过连接边连接，且所述连接边的高度小于U型卡槽的高度。

6.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述侧压块上设置有贯穿U型卡槽两侧边的螺纹孔，而对应的石墨侧护板在对应位置开有通孔，以通过在螺纹孔位置插装石墨螺栓来将侧压块与石墨侧护板进行固连。

7.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述侧压块上的U型卡槽上靠石墨侧护板侧设置有螺纹孔，通过在螺纹孔位置插装石墨螺栓来将侧压块顶紧于石墨侧护板上。

8.根据权利要求1所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述石墨面板的下表面上成型有内凹弧面。

9.根据权利要求8所述的石墨坩埚盖板，其特征在于，所述井格状凸肋成型于所述内凹弧面内，并与所述内凹弧面的外缘平齐。