[实用新型]一种石墨坩埚盖板

说明书

本实用新型公开了一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。本实用新型能缓解硅蒸汽对石墨坩埚盖板的热应力冲击，从而有效抵抗盖板变形，提高盖板使用寿命，并改善氩气气流的循环状态。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭设备领域，具体涉及一种石墨坩埚盖板。

背景技术

在现有技术中，随着光伏技术以及微电子技术的发展，市场对多晶硅的需求日益提升，目前多晶硅锭一般采用多晶铸锭炉进行制备，操作时，包括将坩埚喷涂后进行装填料，再将装填好的坩埚放置于石墨底板上，其外侧通过石墨侧护板进行限位固定，再安装石墨坩埚盖板，在硅锭热成型过程中、石墨坩埚盖板起导热、传热作用，与此同时石墨坩埚盖板还能防止杂质落入石英坩埚内部污染硅料而产生不合格的产品。

但是现有的石墨坩埚盖板通常为结构简单的平板结构，其内侧紧靠在石英坩埚和石墨侧护板的上表面，在硅锭热成型过程中受到硅蒸汽的热冲击，使用一段时间后石墨坩埚盖板中间位置会出现中间部分塌陷变形而四角翘起的情况，这种变形后的石墨坩埚盖板在热处理过程中容易产生移位而失去原本的使用效果，同时随着多晶铸锭投炉量的增加，变形后的石墨坩埚盖板还容易因为塌陷而导致盖板与硅料接触，致使大量碳杂质引入硅锭中，当碳含量过高，容易导致硅溶液在定向凝固长晶过程中形成碳沉淀、碳化硅夹杂物、位错等问题，从而降低产品品质，且切片机器对硅锭进行切片加工时也容易出现错位、断切的情况；而翘起的四角与顶板加热器接触会发生打火现象，造成停炉；同时也会在翘起边的边角位置出现裂纹，导致盖板报废，从而增加多晶铸锭辅材成本。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种石墨坩埚盖板，以解决上述技术背景中的缺陷。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：

一种石墨坩埚盖板，包括石墨面板以及若干侧压块，所述石墨面板为平面板，其尺寸与石墨侧护板所围成区域的外轮廓线尺寸一致，所述盖板在内侧面上成型有井格状凸肋；而所述侧压块成型于石墨面板外侧，间隔设置，且在所述侧压块的下部设置有一个开口朝下的U型卡槽，所述U型卡槽的开口向下，且开口尺寸与石墨侧护板的厚度一致，以在石墨侧护板装配好后直接从其上表面进行盖合。

作为进一步限定，所述石墨面板为方形盖板。

作为进一步限定，所述石墨面板与所述侧压块为同一块石墨材料一体成型制成。

作为进一步限定，所述侧压块采用碳碳纤维或石墨材料成型制备。

作为进一步限定，位置相邻的侧压块之间等间距设置，且位置相邻的侧压块在U型卡槽上靠石英坩埚侧通过连接边连接，且所述连接边的高度小于U型卡槽的高度。

作为进一步限定，所述侧压块上设置有贯穿U型卡槽两侧边的螺纹孔，而对应的石墨侧护板在对应位置开有通孔，以通过在螺纹孔位置插装石墨螺栓来将侧压块与石墨侧护板进行固连。

作为进一步限定，所述侧压块上的U型卡槽上靠石墨侧护板侧设置有螺纹孔，通过在螺纹孔位置插装石墨螺栓来将侧压块顶紧于石墨侧护板上。

作为进一步限定，所述石墨面板的下表面上均成型有内凹弧面，而所述井格状凸肋成型于所述内凹弧面内，并与所述内凹弧面的外缘平齐。