[实用新型]一种真空镀膜靶材安装结构

权利要求书

1.一种真空镀膜靶材安装结构，包括靶头(1)和磁铁块(16)，其特征在于：所述靶头(1)下固定连接有密封圆板(2)，所述密封圆板(2)内嵌设有水管(3)，所述密封圆板(2)的下方固定连接有上盖板(4)，所述上盖板(4)底部开设有凹槽(5)，所述凹槽(5)内部侧壁开设有内螺纹(6)，所述内螺纹(6)螺纹连接在外螺纹(7)上，所述外螺纹(7)开设在靶管(8)上方外部；

所述靶管(8)内设置有塑胶管(9)，所述塑胶管(9)底部固定连接有U型杆(10)，所述U型杆(10)上固定连接有防滑套(11)，所述防滑套(11)上开设有防滑纹(12)，所述塑胶管(9)内设置有热缩胶(13)，所述热缩胶(13)内嵌设有铁氟龙片(14)，所述铁氟龙片(14)内固定连接有磁铁座(15)，所述磁铁块(16)固定连接在磁铁座(15)外侧。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材安装结构，其特征在于：所述上盖板(4)、凹槽(5)、内螺纹(6)和外螺纹(7)在靶管(8)的上下两端各设置有一组，且内螺纹(6)和外螺纹(7)的高度相等。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材安装结构，其特征在于：所述靶管(8)、塑胶管(9)和磁铁座(15)的高度相等，且靶管(8)的内直径与塑胶管(9)外直径相等，并且塑胶管(9)内直径大于磁铁座(15)外直径。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜靶材安装结构，其特征在于：所述靶管(8)，包括卡槽(801)、密封垫(802)、卡板(803)，所述靶管(8)内侧壁上开设有卡槽(801)，所述卡槽(801)内固定连接有密封垫(802)，所述密封垫(802)内卡合连接有卡板(803)，所述卡板(803)一侧固定连接有塑胶管(9)。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜靶材安装结构，其特征在于：所述卡槽(801)、密封垫(802)和卡板(803)在靶管(8)与塑胶管(9)之间呈环形阵列设置有六组，且六组卡槽(801)、密封垫(802)和卡板(803)的横截面均为T形。

6.根据权利要求4所述的一种真空镀膜靶材安装结构，其特征在于：所述卡槽(801)、密封垫(802)和卡板(803)的高度与靶管(8)和塑胶管(9)的高度相等，且密封垫(802)的材料为橡胶。