[实用新型]一种真空镀膜靶材安装结构

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜靶材安装结构，包括靶头和磁铁块，所述靶头下固定连接有密封圆板，所述密封圆板内嵌设有水管，所述密封圆板的下方固定连接有上盖板，所述靶管内设置有塑胶管，所述塑胶管底部固定连接有U型杆，所述U型杆上固定连接有防滑套，所述防滑套上开设有防滑纹，所述塑胶管内设置有热缩胶，所述热缩胶内嵌设有铁氟龙片，所述铁氟龙片内固定连接有磁铁座，所述磁铁块固定连接在磁铁座外侧。该真空镀膜靶材安装结构设置有热缩胶和铁氟龙片，在将上盖板旋上之前，向磁铁座与塑胶管之间注入热缩胶，热缩胶能保护磁铁块受外力影响时，不会脱离磁铁座，且能够有效避免磁铁块与塑胶管，靶管直接摩擦。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜靶材安装结构。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如，真空镀铝、真空镀铬等。

而目前在对靶材进行真空镀膜时，靶材整体不便于组装，且磁铁与靶管之间容易发生摩擦，严重时甚至导致两者出现损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜靶材安装结构，以解决上述背景技术提出的目前市场上的在对靶材进行真空镀膜时，靶材整体不便于组装，且磁铁与靶管之间容易发生摩擦，严重时甚至导致两者出现损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜靶材安装结构，包括靶头和磁铁块，所述靶头下固定连接有密封圆板，所述密封圆板内嵌设有水管，所述密封圆板的下方固定连接有上盖板，所述上盖板底部开设有凹槽，所述凹槽内部侧壁开设有内螺纹，所述内螺纹螺纹连接在外螺纹上，所述外螺纹开设在靶管上方外部；

所述靶管内设置有塑胶管，所述塑胶管底部固定连接有U型杆，所述U型杆上固定连接有防滑套，所述防滑套上开设有防滑纹，所述塑胶管内设置有热缩胶，所述热缩胶内嵌设有铁氟龙片，所述铁氟龙片内固定连接有磁铁座，所述磁铁块固定连接在磁铁座外侧。

优选的，所述上盖板、凹槽、内螺纹和外螺纹在靶管的上下两端各设置有一组，且内螺纹和外螺纹的高度相等。

优选的，所述靶管、塑胶管和磁铁座的高度相等，且靶管的内直径与塑胶管外直径相等，并且塑胶管内直径大于磁铁座外直径。

优选的，所述靶管，包括卡槽、密封垫、卡板，所述靶管内侧壁上开设有卡槽，所述卡槽内固定连接有密封垫，所述密封垫内卡合连接有卡板，所述卡板一侧固定连接有塑胶管。

优选的，所述卡槽、密封垫和卡板在靶管与塑胶管之间呈环形阵列设置有六组，且六组卡槽、密封垫和卡板的横截面均为T形。

优选的，所述卡槽、密封垫和卡板的高度与靶管和塑胶管的高度相等，且密封垫的材料为橡胶。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该真空镀膜靶材安装结构：

1.设置有上盖板、凹槽、内螺纹、外螺纹、靶管，且上盖板、凹槽、内螺纹和外螺纹在靶管的上下两端各设置有一组，首先，下端的上盖板通过内螺纹和外螺纹与靶管连接，然后，将塑胶管通过T形的卡板卡入卡槽中与靶管内部连接，然后将磁铁座插入塑胶管内的铁氟龙片中，最后，上盖板通过内螺纹和外螺纹将靶管的上方封闭，完成整体的组装，不仅便于组装，且组装件之间连接比较牢固；

2.设置有热缩胶和铁氟龙片，在将上盖板旋上之前，向磁铁座与塑胶管之间注入热缩胶，热缩胶能保护磁铁块受外力影响时，不会脱离磁铁座，且能够有效避免磁铁块与塑胶管，靶管直接摩擦，并且铁氟龙片能够防止靶管与塑胶管直接接触，进一步提高防护性；

3.设置有塑胶管，且靶管、塑胶管和磁铁座的高度相等，且靶管的内直径与塑胶管外直径相等，并且塑胶管内直径大于磁铁座外直径，在安装时塑胶管能够避免靶管对磁铁块摩擦的同时，并减弱磁铁块对靶管的磁性，且可对靶管位置有修正作用，减轻装上盖板时的难度。