[实用新型]一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉有效
| 申请号： | 202021943070.8 | 申请日： | 2020-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN213977959U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 雷小龙;李宝飞;胡云川;何长发;匡成国;彭欣欣;阿海克古;董纪刚 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 邓芸 |
| 地址： | 610213 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 炉管 腐蚀 结构 扩散 | ||
1.一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，包括加热炉(3)和设置在加热炉(3)内的石英炉管(1)，石英炉管(1)一侧延伸出加热炉(3)设置有炉门(2)，所述石英炉管(1)另一侧设置有延伸出加热炉(3)进气口(7)和排气口(4)，石英炉管(1)内设置有与排气口(4)配合的尾气管(8)，其特征在于，所述的进气口(7)处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管(1)管尾的进气管组件(6)，排气口(4)处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管(1)管尾及尾气管(8)外壁的防腐蚀出气管组件(5)。
2.根据权利要求1所述的一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，其特征在于，所述进气管组件(6)包括套设在进气口(7)末端的三通接头(6-2)，在进气口(7)外壁与三通接头(6-2)内壁通过密封环A(6-6)密封，进气管组件(6)还包括依次穿过三通接头(6-2)和进气口(7)进入石英炉管(1)内的进气管(6-3)，位于三通接头(6-2)内的进气管(6-3)上设置有一圈凸环(6-4)，凸环(6-4)与三通接头(6-2)内壁之间设置有密封环B(6-5)，所述三通接头(6-2)的第三个接头(6-1)与密封环A(6-6)和密封环B(6-5)之间的三通接头(6-2)内部空间连通，进气口(7)的开口处与密封环A(6-6)和密封环B(6-5)之间空间连通，位于进气口(7)内且靠近石英炉管(1)的进气管(6-3)上设置有一圈环状凸台(6-7)，环状凸台(6-7)与进气口(7)之间存在间隙，环状凸台(6-7)与进气口(7)之间的间隙构成溢流口。
3.根据权利要求2所述的一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，其特征在于，所述密封环A(6-6)和密封环B(6-5)之间的三通接头(6-2)内部空间与进气口(7)的开口处到环状凸台(6-7)之间的进气口(7)内部空间构成不闭合腔室。
4.根据权利要求1所述的一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，其特征在于，所述进气管组件(6)与防腐蚀出气管组件(5)结构相同。
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