[实用新型]一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉

说明书

本实用新型公开了一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，涉及半导体太阳能扩散设备领域，本实用新型包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管，石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门，所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口，石英炉管内设置有与排气口配合的尾气管，所述的进气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾的进气管组件，排气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾及尾气管外壁的防腐蚀出气管组件；本实用新型具有结构简单，用以解决偏磷酸沉积，长期腐蚀石英炉管问题，降低了人工劳动强度。

技术领域

本实用新型涉及半导体太阳能扩散设备技术领域，更具体的是涉及带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉的技术领域。

背景技术

目前，全球的半导体技术和太阳能生产线得到了爆发式的发展，太阳能电池发电是太阳能发电的主流。在半导体太阳能电池产品制造过程当中，会使用到一种高温扩散炉，用于半导体电池片参杂，形成 P-N结，利用光生伏达效应进行光电转换，达到发电目的。一般而言，太阳能领域当中，扩散炉由炉体、石英炉管、进气管、Profile-TC、和排气管组成以及其他电气和机械结构组成，当在高温闭管环境下，通入三氯氧磷和氧气反应后，会产生偏磷酸衍生物，石英炉管内偏磷酸在气路排废系统抽气抽出至外界，在抽出过程当中，伴随着温度下降，当温度将至一定条件下会凝结，凝结下来的偏磷酸会沉积在石英炉管尾部内管壁和尾气管外壁上，由于偏磷酸接触石英器件会造成石英器件腐蚀，导致石英管和尾气管腐蚀断裂和穿孔漏气，一旦石英器件损坏，则会造成产品不良，必须更换石英器件，造成设备宕机，特别是更换石英炉管，会降温12小时，导致大量产能损失和石英器材维修更换费用。

目前，在高温闭管环境下，通入三氯氧磷和氧气反应后，会产生偏磷酸，石英炉管内偏磷酸在气路排废系统抽气抽出至外界一定温度下会凝结，沉积在石英炉管尾部管壁和尾气管壁上，由于偏磷酸会对石英器件有腐蚀效果，高温条件下长时间接触石英器件会造成石英器件腐蚀，导致石英管和尾气管腐蚀断裂和穿孔漏气，一旦石英器件损坏，则会造成产品不良，必须更换石英器件，造成设备宕机，导致产能损失和石英器材维修更换费用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有半导体和太阳能领域参杂设备中，反应物或者反应产生的二次以及多次衍生化学物质对石英器件的腐蚀的技术问题，本实用新型提供一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉。

本实用新型为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管，石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门，所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口，石英炉管内设置有与排气口配合的尾气管，所述的进气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾的进气管组件，排气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾及尾气管外壁的防腐蚀出气管组件。

进一步地，所述进气管组件包括套设在进气口末端的三通接头，在进气口外壁与三通接头内壁通过密封环A密封，进气管组件还包括依次穿过三通接头和进气口进入石英炉管内的进气管，位于三通接头内的进气管上设置有一圈凸环，凸环与三通接头内壁之间设置有密封环B，所述三通接头的第三个接头与密封环A和密封环B之间的三通接头内部空间连通，进气口的开口处与密封环A和密封环B之间空间连通，位于进气口内且靠近石英炉管的进气管上设置有一圈环状凸台，环状凸台与进气口之间存在间隙，环状凸台与进气口之间的间隙构成溢流口。

进一步地，所述密封环A和密封环B之间的三通接头内部空间与进气口的开口处到环状凸台之间的进气口内部空间构成不闭合腔室。

进一步地，所述进气管组件与防腐蚀出气管组件结构相同。

本实用新型的有益效果如下：