[实用新型]一种制绒机用槽体组件及制绒机有效
申请号: | 202021944635.4 | 申请日: | 2020-09-08 |
公开(公告)号: | CN212907663U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 陈龙 | 申请(专利权)人: | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 471023 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制绒机用槽体 组件 制绒机 | ||
1.一种制绒机用槽体组件,其特征在于,包括:
反应槽(1),花篮和反应液置于所述反应槽(1)内,硅片置于所述花篮内;
定位柱(2),竖直置于所述反应槽(1)内,所述反应槽(1)的至少两侧设置有所述定位柱(2),所述花篮能套设于所述定位柱(2)上;
冷却管(3),绕设于所述反应槽(1)的内壁,所述冷却管(3)内流通有冷却液。
2.根据权利要求1所述的制绒机用槽体组件,其特征在于,所述定位柱(2)的高度不低于所述反应槽(1)的侧壁的高度。
3.根据权利要求1所述的制绒机用槽体组件,其特征在于,所述反应槽(1)内还设置有限位柱(4),所述限位柱(4)设置有两根以上,所述花篮的凸起部能置于相邻两根所述限位柱(4)之间。
4.根据权利要求3所述的制绒机用槽体组件,其特征在于,所述限位柱(4)靠近所述反应槽(1)的内壁的一侧设置有管槽(43),所述冷却管(3)能置于所述管槽(43)内。
5.根据权利要求3所述的制绒机用槽体组件,其特征在于,所述限位柱(4)包括圆柱(41)和方柱(42),所述方柱(42)设置于所述反应槽(1)的相邻的两侧壁的连接处,所述圆柱(41)置于所述定位柱(2)与所述方柱(42)的之间。
6.根据权利要求3所述的制绒机用槽体组件,其特征在于,还包括定位块(5),所述定位块(5)设置于所述反应槽(1)内,所述定位柱(2)设置于所述定位块(5)上,所述花篮的底部能与所述定位块(5)抵接。
7.根据权利要求1-6任一项所述的制绒机用槽体组件,其特征在于,所述冷却管(3)绕设有多圈,多圈所述冷却管(3)沿所述反应槽(1)的槽深方向排列。
8.根据权利要求1-6任一项所述的制绒机用槽体组件,其特征在于,所述反应槽(1)外还围设有循环槽(6),所述循环槽(6)的高度高于所述反应槽(1)的高度,所述循环槽(6)还连通有循环驱动装置(7),所述循环驱动装置(7)的进水口与所述循环槽(6)连通,所述循环驱动装置(7)的出水口与所述反应槽(1)连通。
9.根据权利要求1-6任一项所述的制绒机用槽体组件,其特征在于,所述反应槽(1)的底壁设置有排液口,所述排液口上设置有过滤网(11)。
10.一种制绒机,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的制绒机用槽体组件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造