[实用新型]一种玻璃基板镀膜装置有效
| 申请号： | 202021952866.X | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN213803957U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张麒麟 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;C23C14/04 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 颜丽蓉 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 装置 | ||
1.一种玻璃基板镀膜装置，其特征在于，包括蒸发源挡板、掩膜板和蒸发源，所述蒸发源挡板位于掩膜板和蒸发源之间，所述蒸发源挡板包括四个以上的遮挡板，四个以上的所述遮挡板之间相互滑动连接，所述掩膜板上设有两个以上的缓冲条，两个以上的所述缓冲条将掩膜板划分成若干个无缓冲区域，一个所述遮挡板对应一个无缓冲区域，所述掩膜板远离蒸发源挡板的一侧面上放置有待镀膜的玻璃基板。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板镀膜装置，其特征在于，所述缓冲条的形状为长方形，所述蒸发源位于掩膜板的正下方，所述缓冲条的宽度为2*h/tanθ+L，其中h为玻璃基板与蒸发源挡板之间的距离，θ为蒸发源的喷射角，L为安全距离。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板镀膜装置，其特征在于，所述安全距离为1cm-3cm。
4.根据权利要求1所述的玻璃基板镀膜装置，其特征在于，所述掩膜板包括中部镂空的掩膜框，所述掩膜框设置在蒸发源挡板上方，两个以上的所述缓冲条均设置在掩膜框远离蒸发源挡板的一侧面，所述掩膜框远离蒸发源挡板的一侧面上还依次叠放有两个以上的支撑条、两个以上的遮挡条和两个以上的掩膜条，相邻两个所述掩膜条之间通过一个遮挡条隔开，所述掩膜条上分布有两个以上的镀膜区域。
5.根据权利要求1所述的玻璃基板镀膜装置，其特征在于，所述遮挡板的数量为四个，所述缓冲条的数量为两个，四个所述遮挡板之间呈阵列分布，两个所述缓冲条之间相互垂直且将掩膜板划分成四个无缓冲区域。
6.根据权利要求1所述的玻璃基板镀膜装置，其特征在于，所述缓冲条的材质为invar合金。
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