[实用新型]一种玻璃基板镀膜装置

说明书

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种玻璃基板镀膜装置，包括蒸发源挡板、掩膜板和蒸发源，蒸发源挡板位于掩膜板和蒸发源之间，蒸发源挡板包括四个以上的遮挡板，四个以上的遮挡板之间相互滑动连接，掩膜板上设有两个以上的缓冲条，两个以上的缓冲条将掩膜板划分成若干个无缓冲区域，一个遮挡板对应一个无缓冲区域，通过设置缓冲条，能够避免各器件叠加造成突起与玻璃基板不能完全重叠，引起混色问题；四个以上的遮挡板之间相互滑动连接，以及缓冲条的配合，使得能够在一块玻璃基板上实现单色或全彩器件成膜，大大提高了器件研发过程中基板及材料消耗量，缩短了研发周期提高了设备利用率。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，特别涉及一种玻璃基板镀膜装置。

背景技术

OLED(英文全称为Organic Light-emitting Diode，即有机发光二极管)，是继LCD后新一代的显示器，主要采用蒸镀制程工艺，在高真空环境下材料受热汽化后沉积到玻璃基板上形成有机薄膜，用于实现OLED器件发光。在开始蒸镀生产前，一般根据OLED显示器产品的设计要求，制定出理论最优的器件膜层结构，然后进行RGB单色、全彩色器件成膜进行验证及改进实验，最后进行量产生产，成膜过程大致为玻璃基板依次经过OLED器件结构各功能层腔体成膜再封装成试验片。如此成膜后的每片玻璃基板制备的器件膜层结构及厚度相同，只能制备单一颜色及单膜厚条件器件，如需制备多颜色多膜厚条件的试验器件就需要多片玻璃基板进行不同膜厚条件成膜，器件制备过程较长且成本高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种玻璃基板镀膜装置，使得能够在一块玻璃基板上实现RGB单色或全彩器件成膜，大大提高了器件研发过程中基板及材料消耗量，缩短了研发周期提高了设备利用率。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种玻璃基板镀膜装置，包括蒸发源挡板、掩膜板和蒸发源，所述蒸发源挡板位于掩膜板和蒸发源之间，所述蒸发源挡板包括四个以上的遮挡板，四个以上的所述遮挡板之间相互滑动连接，所述掩膜板上设有两个以上的缓冲条，两个以上的所述缓冲条将掩膜板划分成若干个无缓冲区域，一个所述遮挡板对应一个无缓冲区域，所述掩膜板远离蒸发源挡板的一侧面上放置有待镀膜的玻璃基板。

本实用新型的有益效果在于：

通过设置缓冲条，能够避免各器件叠加造成突起与玻璃基板不能完全重叠，引起混色问题；四个以上的遮挡板之间相互滑动连接，以及缓冲条的配合，使得能够在一块玻璃基板上实现RGB单色或全彩器件成膜，大大提高了器件研发过程中基板及材料消耗量，缩短了研发周期提高了设备利用率。

附图说明

图1为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的结构示意图；

图2为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的结构示意图；

图3为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的结构示意图；

图4为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的掩膜板的爆炸图；

图5为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的结构示意图；

图6为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的不同玻璃基板区域制备不同颜色器件的结构示意图；

图7为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的蒸发源挡板的结构示意图；

图8为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的蒸发源挡板的开合的结构示意图；

图9为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的蒸发源挡板的开合的结构示意图；

图10为根据本实用新型的一种玻璃基板镀膜装置的蒸发源挡板的开合的结构示意图；