[实用新型]一种单晶硅生产设备专用气体回用装置

权利要求书

1.一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，包括提纯箱(1)，所述提纯箱(1)右端设置有连接管(2)；

其特征在于：还包括辅助加料装置(7)，所述提纯箱(1)顶部右端设置有辅助加料装置(7)，所述辅助加料装置(7)包括壳体(71)、盖子(72)、滑动板(73)、落料孔(74)、弹簧(75)、驱动机构(76)和压杆(77)，所述壳体(71)顶部设置有盖子(72)，所述滑动板(73)与壳体(71)内部下端活动连接，所述落料孔(74)嵌入于滑动板(73)顶部右端，所述弹簧(75)一端与壳体(71)右下端固定连接，并且弹簧(75)另一端与滑动板(73)右端固定连接，所述滑动板(73)右端设置有驱动机构(76)，所述压杆(77)与滑动板(73)顶部右端固定连接，所述壳体(71)与提纯箱(1)顶部右端固定连接。

2.根据权利要求1所述一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，其特征在于：所述连接管(2)右端安装有纯净气体储存罐(3)，所述纯净气体储存罐(3)右端设置有检测器(4)，所述检测器(4)前端面固定有控制开关(5)，所述控制开关(5)右前端设置有电源线(6)，所述提纯箱(1)顶部左端设置有第一输气管(8)，所述第一输气管(8)顶部左端安装有第一电磁阀(9)，所述第一输气管(8)左端安装有第一净化罐(10)，所述第一净化罐(10)左端中部设置有第二输气管(11)，所述第二输气管(11)顶部左端安装有第二电磁阀(12)，所述第二输气管(11)左端设置有第二净化罐(13)，所述第二净化罐(13)顶部设置有进气口(14)，所述第二净化罐(13)底部等距固定有支撑腿(15)，所述提纯箱(1)内部下端设置有反应槽(16)，所述纯净气体储存罐(3)顶部设置有出气口(17)。

3.根据权利要求1所述一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，其特征在于：所述驱动机构(76)包括外壳(761)、电机(762)、固定杆(763)、滑槽(764)、连接杆(765)、短杆(766)和推杆(767)，所述外壳(761)背面上端安装有电机(762)，所述固定杆(763)与外壳(761)内部下端固定连接，所述滑槽(764)嵌入于固定杆(763)上端，所述连接杆(765)与短杆(766)顶部活动连接，所述短杆(766)与电机(762)输出端转动连接，所述推杆(767)与连接杆(765)右端活动连接，并且推杆(767)与滑槽(764)内侧面滑动连接，所述推杆(767)与滑动板(73)右端相抵接，所述外壳(761)与提纯箱(1)右上端固定连接。

4.根据权利要求1所述一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，其特征在于：所述弹簧(75)长度设置为8厘米，并且弹簧(75)能够提供的力为8N。

5.根据权利要求1所述一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，其特征在于：所述壳体(71)呈长方体状，并且壳体(71)内侧面粘接有一层耐腐蚀薄膜。

6.根据权利要求3所述一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，其特征在于：所述短杆(766)下端与电机(762)输出端处于同一水平方向，并且电机(762)带动短杆(766)转动角度为360°。

7.根据权利要求3所述一种单晶硅生产设备专用气体回用装置，其特征在于：所述滑槽(764)内侧面呈光滑平面，并且推杆(767)在滑槽(764)内侧面滑动距离范围为3-8厘米。